陈恩光

作品数：2被引量：7H指数：2
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供职机构：北京交通大学更多>>
发文主题：超晶格硅纳米晶SIO发光特性磁控溅射沉积更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》更多>>
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氢钝化对硅纳米晶发光强度的影响被引量：4
《光谱学与光谱分析》2008年第2期246-248,共3页陈恩光 衣立新 王申伟 刘尧平 苏梦蟾 唐莹 王永生 
国家“973”计划(2003CB314707);国家自然科学基金项目(60577022,10434030);教育部留学回国人员基金项目(2005383);北京交通大学科技基金项目(LI2005J0070,2003RC058)资助
通过热蒸发方法在单晶硅衬底上沉积了SiO/SiO2超晶格样品,在氮气保护下对样品进行高温退火,得到硅纳米晶/SiO2超晶格结构。随后将该结构样品分别注入3.0×1014和3.0×1015cm-2两种剂量的H+。通过对样品的光致发光光谱的分析发现,H+注入...
关键词：超晶格 硅纳米晶 氢钝化 
红外吸收光谱法研究磁控溅射沉积SiO_x非晶薄膜的过程被引量：5
《光谱学与光谱分析》2007年第3期456-459,共4页王申伟 衣立新 苏梦蟾 陈恩光 王永生 
国家"973"计划(2003CB314707);国家自然科学基金(60577022;10434030);教育部留学回国人员基金项目(2005383);北京交通大学科技基金项目(LI2005J0070;2003RC058)资助
利用磁控溅射技术,在单晶Si衬底上生长了SiOx非晶薄膜。傅里叶变换红外吸收光谱(FTIR)显示,SiOx非晶薄膜存在3个吸收谱带。研究发现,随着溅射功率的提高,薄膜中先后形成Si-Oy-Si4-y(0
关键词：SIOX 非晶薄膜 磁控溅射 红外吸收光谱 
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