龚秋雨

作品数：2被引量：9H指数：2
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供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
发文主题：性能研究溅射制备微观结构直流磁控溅射直流磁控更多>>
发文领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《摩擦学学报（中英文）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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中频磁控溅射制备a-C∶H(Al,W)薄膜及其性能研究被引量：2
《摩擦学学报》2013年第6期556-564,共9页龚秋雨 郝俊英 刘小强 刘维民 
国家自然科学基金(51375471);国家973计划项目(2013CB632301)资助~~
采用中频磁控溅射技术，以w、Al复合靶（面积比为1：1）为靶材，在氩气和甲烷混合气体中于iq（100）型单晶硅表面沉积了一系列Al、w共掺杂含氢非晶碳[a-c：H（Al，w）]薄膜．分析了不同甲烷流量对薄膜成分、结构和表面形貌的影响，并表...
关键词：中频磁控溅射 A-C H(A1 W)薄膜 摩擦磨损 力学性能 
直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究被引量：7
《摩擦学学报》2013年第1期85-90,共6页郑建云 郝俊英 刘小强 龚秋雨 刘维民 
国家自然科学基金(50905177)资助~~
采用直流磁控溅射技术制备TiAlCN薄膜,研究了直流电流对TiAlCN薄膜的薄膜成分、微观结构、机械性能和摩擦性能的影响.研究表明:随着直流电流的增加,薄膜中C元素含量逐渐降低;薄膜中无定形碳含量减少,而(Ti,Al)CxN1-x晶粒增加.另外,在低...
关键词：直流磁控溅射 TiAlCN薄膜 微观结构 硬度 摩擦行为 
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