郑建云

作品数：2被引量：14H指数：2
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供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
发文主题：磁控溅射沉积氮化铬直流磁控溅射复合薄膜材料多孔薄膜更多>>
发文领域：一般工业技术机械工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《摩擦学学报（中英文）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究被引量：7
《摩擦学学报》2017年第3期310-317,共8页韩熙 郑建云 张帅拓 刘金玉 郝俊英 
国家重点基础研究发展规划项目(973)(2013CB632302);国家自然科学基金项目(51375471);青岛市自主创新计划(16-5-1-97-jch)资助~~
采用磁控溅射技术,以Al为溅射靶材,甲烷为溅射气体,在不同射频功率下制备了一系列Al含量不同的类金刚石碳基薄膜(AL-DLC).分析了Al含量对薄膜成分、结构及机械性能的影响,并探讨了其在空气和水介质下的摩擦磨损行为.结果表明:Al掺杂使...
关键词：类金刚石薄膜 AL掺杂 sp3结构 水介质 
直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究被引量：7
《摩擦学学报》2013年第1期85-90,共6页郑建云 郝俊英 刘小强 龚秋雨 刘维民 
国家自然科学基金(50905177)资助~~
采用直流磁控溅射技术制备TiAlCN薄膜,研究了直流电流对TiAlCN薄膜的薄膜成分、微观结构、机械性能和摩擦性能的影响.研究表明:随着直流电流的增加,薄膜中C元素含量逐渐降低;薄膜中无定形碳含量减少,而(Ti,Al)CxN1-x晶粒增加.另外,在低...
关键词：直流磁控溅射 TiAlCN薄膜 微观结构 硬度 摩擦行为 
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