冯建

作品数：1被引量：4H指数：1
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发文主题：MEMS硅衬底硅薄膜动部件更多>>
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基于带图形的硅衬底上制备硅薄膜的技术被引量：4
《传感技术学报》2006年第05A期1401-1403,共3页张正元 徐世六 冯建 胡明雨 
国防重点实验室重点基金项目资助(A1120060490)
对硅基MEMS的可动部件很多都是采用在带图形的硅衬底上制备的硅薄膜通过深槽腐蚀释放获得的特点,开展在带图形的硅衬底上制备硅薄膜技术研究,得到一种通过两次硅硅键合、减薄抛光、一次湿法腐蚀硅相结合的在带图形的硅衬底上制备硅薄膜...
关键词：可动部件 硅薄膜 MEMS 
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