刘卫

作品数：2被引量：13H指数：2
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供职机构：中国科学院等离子体物理研究所更多>>
发文主题：成膜特性衬底ECR-PECVDSIO2薄膜二氧化硅薄膜更多>>
发文领域：理学一般工业技术核科学技术更多>>
发文期刊：《核聚变与等离子体物理》《高电压技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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热等离子体对模拟有机低放射性废物固化处理试验分析被引量：7
《高电压技术》2013年第7期1750-1756,共7页江贻满 倪国华 宋晔 赵鹏 刘卫 孟月东 
国家自然科学基金(21171169)~~
低水平放射性废物(LLRW)的安全有效处理是世界各国关注的一大难题,传统的水泥固化技术存在增容增重等缺点,为此采用了直流电弧等离子体处理模拟有机LLRW,并通过添加玻璃形成剂捕集和固化放射性核素。对放射性核素的捕集特性进行了研究,...
关键词：热等离子体 模拟低水平放射性废物 玻璃固化 放射性核素 捕集率 有机氯 
ECR-PECVD制备SiO_2薄膜中衬底射频偏压的作用被引量：6
《核聚变与等离子体物理》2001年第1期59-64,共6页张劲松 任兆杏 梁荣庆 隋毅峰 刘卫 
采用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积 (ECR PECVD)技术在单晶衬底上制备了SiO2 薄膜 ,研究了射频偏压对薄膜特性的影响。通过X射线光电子能谱 (XPS)、傅里叶变换红外线光谱 (FTIR)、原子力显微镜 (AFM)和扫描隧道显微镜 (STM...
关键词：电子回旋共振等离子体 SIO2薄膜 射频偏压 ECR-PECVD 二氧化硅薄膜 离子轰击能量 成膜特性 
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