吴浩

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院兰州物理研究所更多>>
发文主题：磁控溅射沉积STM光学吸收纳米银颗粒银薄膜更多>>
发文领域：理学机械工程更多>>
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磁控溅射沉积纳米结构银薄膜及其表征被引量：1
《真空电子技术》1999年第4期43-47,共5页吴浩 熊玉卿 孙岩 郭云 杨得全 达道安 
本文通过利用射频磁控溅射方法，选择和控制沉积薄膜工艺参数，在石英（ｑｕａｒｔｚ）和高定向热解石墨（ＨＯＰＧ）上制备出纳米尺度的银膜。利用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）对银膜的表面形貌和分布观察分析可得，纳米银颗粒的直径在３...
关键词：纳米结构薄膜 光学吸收 纳米银颗粒 STM 
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