王家金

作品数：3被引量：38H指数：2
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：轻质抛光粗糙度光学加工面形精度更多>>
发文领域：化学工程一般工业技术轻工技术与工程更多>>
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轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面加工被引量：31
《光电工程》2004年第9期22-25,共4页徐清兰 伍凡 吴时彬 王家金 
介绍了对角线为110mm六边形反应烧结轻质碳化硅平面反射镜超光滑光学加工工艺流程。详细阐述了各个工序所使用的磨具、磨料和抛光机床工艺参数,对实际加工的轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面进行检测,检测结果为:面形精度均方根值(RMS)为...
关键词：轻质平面反射镜 光学加工 粗糙度 抛光 面形精度 
单晶硅镜面超光滑表面工艺技术研究被引量：6
《光电工程》2003年第5期69-72,共4页徐清兰 伍凡 吴时彬 王家金 雷柏平 兰秀清 张晶 
用古典的沥青盘抛光技术,通过对超光滑抛光时所使用磨料的选取、沥青抛光盘的软硬和 厚度的合理应用、抛光温度的控制等工艺参数的优化,以f220mm内的单晶硅进行了超光滑表面抛光工艺试验。试验结果,单晶硅表面粗糙度RMS值达0.37nm,平面...
关键词：抛光 磨料 单晶硅 沥青盘 
平面连续抛光技术在大尺寸异型石英轻质镜制造中的应用被引量：1
《光电工程》1998年第4期41-47,54,共8页杨力 周晨波 陈强 耿彦生 王家金 廖锦屏 
国家863高技术研究计划
报导了采用１．６ｍ直径连续抛光机制造５８６ｍｍ×４４０ｍｍ、２０边形反射面板的大尺寸异型轻质平面反射镜的光学表面抛光技术。讨论了平面连续抛光理论和抛光工艺设备及特点。给出了最终制造结果。
关键词：轻质反射镜 抛光 工艺过程 石英轻质镜 
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