胡晓峰

作品数：3被引量：20H指数：3
导出分析报告
供职机构：华中科技大学更多>>
发文主题：纳米压印光刻热压印刻蚀模压微透镜阵列更多>>
发文领域：电子电信机械工程医药卫生一般工业技术更多>>
发文期刊：《中国机械工程》《华中科技大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
一种微透镜阵列制作方法被引量：4
《华中科技大学学报（自然科学版）》2006年第6期77-79,共3页张鸿海 范细秋 胡晓峰 刘胜 
国家自然科学基金资助项目(50475137);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(2004487026).
提出一种采用热压印技术制作微透镜阵列的方法.将聚合物加热到其玻璃转化温度以上,利用预先制备好的模板在适当的压力下压向聚合物样品,保持压力直到聚合物温度降到玻璃转化温度以下,将模板移去后,模板上图形便转移到样品表面.根据热压...
关键词：微透镜阵列 热压印 聚甲基丙烯酸甲脂 衍射 
宽范围高对准精度纳米压印样机的研制被引量：4
《中国机械工程》2005年第z1期64-67,共4页范细秋 张鸿海 胡晓峰 贾可 刘胜 
国家自然科学基金资助项目(50475137);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20040487026)
传统的光学光刻技术由于受光波波长和数值孔径等因素的限制难于制作特征尺度小于100nm的图案.与传统光刻相比,纳米压印光刻的分辨率不受光的衍射和散射等因素的限制,可突破传统光刻工艺的分辨率极限,因而被认为是一种获得100nm以下图案...
关键词：纳米压印光刻 对准 莫尔干涉法 
纳米压印光刻技术的研究被引量：12
《华中科技大学学报（自然科学版）》2004年第12期57-59,共3页张鸿海 胡晓峰 范细秋 刘胜 
国家自然科学基金资助项目 (5 0 4 75 137)
研究了一种新型的纳米结构制作方法———纳米压印光刻技术 .该工艺通过阻蚀剂的物理变形而不是改变其化学特性来实现图形转移 ,其分辨率不受光波波长、物镜数值孔径等因素的限制 ,可突破传统光刻工艺的分辨率极限 .论述了热压雕版压印...
关键词：纳米压印光刻 热压雕版压印 微器件制作 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部