蒲运章

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供职机构:中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文主题:INGAAS/INP光电探测器INGAAS长波长INP/INGAAS更多>>
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发文期刊:《Journal of Semiconductors》更多>>
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基于InP/InGaAs HBT技术的单片集成长波长光接收OEIC
《Journal of Semiconductors》2007年第z1期520-524,共5页李献杰 赵永林 蔡道民 曾庆明 蒲运章 郭亚娜 王志功 王蓉 齐鸣 陈晓杰 徐安怀 
国家高技术研究发展计划(批准号:2001AA312040,2002AA312040),重点实验室基金(批准号:51432070104ZK3401)和国家重大基础研究发展规划(批准号:2003CB314901)资助项目
采用InP/InGaAs HBT与PIN光探测器单片集成方案,对光接收光电集成电路(OEIC)的外延材料结构和生长、电路设计、制作工艺和性能测试进行了研究.基于自对准InP/InGaAs HBT工艺,实现了1.55μm波长单片集成光接收OEIC.发射极尺寸2μm×8μm...
关键词:InP INGAAS HBT PIN 光接收 OEIC 
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