陈敏娜

作品数：1被引量：4H指数：1
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发文主题：脉冲电镀粗糙度极化铜互连线铜互连更多>>
发文领域：化学工程更多>>
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有机添加剂对铜互连线脉冲电镀的影响被引量：4
《半导体技术》2007年第5期387-390,共4页陈敏娜 曾磊 汪礼康 张卫 徐赛生 张立锋 
针对集成电路电镀铜技术,研究了三种有机添加剂(加速剂、抑制剂和平整剂)对铜互连线脉冲电镀的影响及其机制。采用电化学方法LCV(线性循环伏安法)和CP(计时电势法),分析了不同添加剂浓度下电镀过程的极化情况;用SEM表征了三种添加剂对...
关键词：铜互连 添加剂 脉冲电镀 粗糙度 极化 
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