尹旻

作品数：2被引量：5H指数：1
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供职机构：兰州大学物理系更多>>
发文主题：电感耦合X射线光电子谱硅薄膜铝诱导晶化电子密度更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《物理学报》《科学通报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金教育部重点实验室基金甘肃省科技攻关计划更多>>
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电感耦合等离子体CVD室温制备的纳米Si薄膜场电子发射研究
《科学通报》2006年第3期251-254,共4页贺德衍 王晓强 陈强 栗军帅 尹旻 A.V.Karabutov A.G.Kazanskii 
国家自然科学基金（批准号：10175030）;甘肃省科技攻关项目（批准号：4WS035-A72-134）的资助.
利用电感耦合等离子体化学气相沉积在室温下制备了Si薄膜，用拉曼谱对样品的结构进行了表征，502cm^-1附近散射峰的出现说明在样品中形成了纳米结晶相．用原子力显微镜观察样品表面形貌发现，在合适的等离子体条件下制备的样品，其表面...
关键词：ICP-CVD 纳米行Si锥 场电子发射 低温生长 
电感耦合等离子体CVD低温生长硅薄膜过程中的铝诱导晶化被引量：5
《物理学报》2005年第1期269-273,共5页王晓强 栗军帅 陈强 祁菁 尹旻 贺德衍 
国家自然科学基金(批准号 :10 175 0 3 0 );北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室基金资助的课题~~
利用电感耦合等离子体CVD方法在 35 0℃的低温下在镀Al玻璃衬底上制备出具有良好结晶性的Si薄膜 .利用x射线衍射、紫外 可见分光椭圆偏振谱、原子力显微镜及x射线光电子谱等研究了薄膜的结构、表面形貌和成分分布等 .结果表明 ,用这种...
关键词：低温生长 电感耦合等离子体 X射线光电子谱 硅薄膜 衬底 分光 CVD 电子密度 结晶取向 晶化 
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