彭华军

作品数：1被引量：3H指数：1
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发文主题：HFCVD薄膜生长金刚石薄膜金刚石波长调谐更多>>
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影响金刚石薄膜生长因素的研究被引量：3
《真空》1998年第4期17-22,共6页邵淑敏 吕向英 于剑 丁乐礼 席光康 张猛 周志强 李胜林 彭华军 邵牟舟 
本文用ＨＦＣＶＤ法对在硬质合金衬底上生长金刚石薄膜的诸多影响因素，如衬底的预处理、碳源浓度和热丝及衬底温度等进行了系统地研究并最终找出在该衬底上生长金刚石薄膜的最佳生长条件。
关键词：硬质合金衬底 金刚石 薄膜生长 HFCVD 
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