李点美

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：黑龙江大学电子工程学院集成电路重点实验室更多>>
发文主题：激光打孔硼扩散内引线硅悬臂梁更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》《黑龙江大学自然科学学报》更多>>
所获基金：黑龙江省科技计划项目国家自然科学基金更多>>
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硅基微电感的研究
《黑龙江大学自然科学学报》2006年第3期354-358,共5页李点美 王璐 杨志 温殿忠 
国家自然科学基金资助项目(60076027)
阐述了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法,提出了在硅杯背面用激光器打孔以减薄衬底厚度,从而使电感的Q值得到提高的一种方案,并应用目前普遍采用的电感模型,利用Ansys有限元...
关键词：MEMS 浓硼扩散区 内引线 激光打孔 硅基微电感 
硅悬臂梁脉象传感器温度补偿被引量：1
《传感器与微系统》2006年第4期24-25,28,共3页王丙利 李点美 王璐 杨志 温殿忠 
黑龙江省科技计划资助项目
阐述了采用硅悬臂梁制造的脉象传感器结构、设计和温度补偿原理。实验结果表明：补偿后的传感器具有灵敏度高、稳定性好，线性度为1％FS（0-5N），重复性为0．5％FS，灵敏度为50mV／N。给出的温度补偿晶体管对该脉象传感器的灵敏度温度...
关键词：悬臂梁 脉象传感器 温度补偿 稳定性 
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