罗学涛

作品数:53被引量:207H指数:8
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供职机构:厦门大学更多>>
发文主题:多晶硅工业硅石墨坩埚提纯方法更多>>
发文领域:化学工程一般工业技术理学电气工程更多>>
发文期刊:《高技术通讯》《无机材料学报》《分析仪器》《材料研究学报》更多>>
所获基金:福建省自然科学基金福建省科技重大专项国家高技术研究发展计划厦门市科技计划项目更多>>
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横向磁场下坩埚转速对半导体级直拉单晶硅熔体中流场与氧浓度的影响机制被引量:1
《人工晶体学报》2023年第9期1641-1650,共10页王黎光 芮阳 盛旺 马吟霜 马成 陈炜南 邹啟鹏 杜朋轩 黄柳青 罗学涛 
宁夏回族自治区重点研发计划(2022BFE02007);深圳市基础研究面上项目(JCYJ20210324121813037)。
利用ANSYS有限元软件分析了横向磁场下不同坩埚转速对200 mm半导体级直拉单晶硅的流场及氧浓度的影响。研究结果表明:在横向磁场下,硅熔体的流场和氧浓度分布呈三维非对称性,熔体对流形式主要包括泰勒-普劳德曼漩涡、浮力-热毛细漩涡及...
关键词:ANSYS有限元分析 200 mm半导体级单晶硅 直拉法 坩埚转速 流场 氧浓度 
热屏结构对200 mm半导体级提拉单晶硅中氧含量分布的影响被引量:4
《人工晶体学报》2023年第6期1110-1119,共10页芮阳 王忠保 盛旺 倪浩然 熊欢 邹啟鹏 陈炜南 黄柳青 罗学涛 
宁夏回族自治区重点研发计划(2022BFE02007);深圳市基础研究面上项目(JCYJ20210324121813037)。
半导体级单晶硅是芯片的基础核心材料,其晶体的氧含量分布对晶圆品质有重要影响。通过优化提拉单晶炉的热屏结构可有效控制晶体生长过程中的氧含量分布,但难以通过实验探究其内在影响机制。本文采用ANSYS有限元分析,研究了热屏结构对200...
关键词:半导体级单晶硅 氧含量 有限元分析 热屏结构 温度场 流场 
基于355nm紫外激光切割柔性覆铜板的工艺参数优化被引量:2
《中国激光》2023年第8期21-30,共10页刘文鑫 陈志城 李岩 陈广玉 黄柳青 罗学涛 
厦门市重大科技项目(3502Z20201002)。
针对紫外激光切割柔性覆铜板时出现焦黑碳化、过熔及过多能量损耗等问题,采用355 nm紫外纳秒激光切割机对49μm厚聚酰亚胺双面无胶柔性覆铜板进行激光切割实验,通过预切割遍历参数以验证切割覆铜板的最小能量——临界切割能量。在此基础...
关键词:激光技术 紫外激光切割 柔性覆铜板(FCCL) 临界切割能量 工艺参数 
355nm皮秒激光对柔性电路板盲孔加工的研究被引量:4
《应用激光》2022年第5期58-65,共8页陈志城 刘文鑫 吕凤洋 赵士忠 李岩 黄柳青 黄柳英 罗学涛 
厦门市重大科技项目(3502Z20201002)。
柔性电路板微盲孔技术目前是高密度互连制作工艺流程的关键一环。采用355nm紫外激光器对双面柔性覆铜板进行钻孔加工试验,研究了紫外激光的功率、扫描速度对两种柔性覆铜板(电解铜和压延铜)盲孔的形貌及质量的影响。试验发现,激光功率...
关键词:柔性电路板 紫外激光钻孔 电解铜 压延铜 
图形化蓝宝石衬底干法刻蚀工艺研究被引量:1
《中国机械工程》2021年第24期3001-3007,共7页侯想 刘熠新 钟梦洁 林赛 刘杨 罗荣煌 罗学涛 张飒 
校企合作项目(XDHT2020182A)。
为了缩短刻蚀时间以及提高发光二极管(LEDs)的发光性能,针对添加刻蚀辅助气体三氟甲烷(CHF_(3))的干法刻蚀工艺进行了研究。采用感应耦合等离子(ICP)干法刻蚀技术并通过正交试验研究了偏压功率、CHF_(3)流量、自动压力控制蝶阀开合度(A...
关键词:图形化蓝宝石衬底(PSS) 三氟甲烷 刻蚀选择比 正交试验 
SiO_(2)图形化蓝宝石衬底对GaN生长及LED发光性能的影响被引量:2
《发光学报》2021年第4期526-533,共8页李思宏 侯想 罗荣煌 刘杨 钟梦洁 罗学涛 
厦门大学与福建中晶科技有限公司合作项目(XDHT2018582A)资助。
为了提高氮化镓(GaN)基发光二极管(LEDs)的发光性能,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在蓝宝石衬底上沉积SiO_(2)薄膜,经过光刻和干法刻蚀技术制备了SiO_(2)图形化蓝宝石衬底(SiO_(2)patterned sapphire substrate,SPSS),利用LED器...
关键词:SiO_(2)蓝宝石复合衬底 LED芯片 位错密度 GaN 光提取效率 
实验条件异于校正条件对DSC测试结果的影响
《分析仪器》2020年第5期84-88,共5页郑薇 罗学涛 刘新瑜 
为考察差示扫描量热法(DSC)实验过程中实验条件异于校正条件对实验结果的影响,本研究以标准样品金属铟(In)为对象,研究了实验升温速率、气氛与校正文件不同时In熔点和熔融焓的变化。实验结果表明:(1)在通用的较低的升温速率(低于20℃·m...
关键词:差示扫描量热仪 校正条件 升温速率 气氛 
Si-Cu合金精炼与造渣精炼去除冶金级硅中金属杂质被引量:2
《厦门大学学报(自然科学版)》2019年第3期344-350,共7页张陈通 刘应宽 温卫东 窦鹏 李洋 苏静 黄柳青 罗学涛 
宁夏东西部合作项目
采用Si-Cu合金精炼与CaO-SiO2-CaCl2造渣精炼相结合的方法对冶金级硅进行精炼,通过多种分析方法考察了合金造渣过程、渣剂添加剂和合金成分对金属杂质Fe、Al和Ca去除效果的影响.结果表明,提高Si-Cu合金中Cu的质量分数可以有效增加Cu3Si...
关键词:冶金级硅 金属杂质 合金精炼 造渣精炼 
FeSi_2Ti相重构对工业硅中杂质酸洗行为的影响
《材料导报》2019年第10期1609-1614,共6页赖惠先 蔡华宪 孟金水 盛之林 张尧昊 罗学涛 
陕西省"无机高纯硅材料产业创新链"科技项目(2017TSCXL-GY-06-02)~~
为了强化酸洗提纯多晶硅技术,本工作通过FeSi_2Ti相重构来提高酸洗的除杂能力。研究结果发现,经Si-Fe-Ti合金精炼之后,工业硅中的主要杂质相由原来的Si-Fe-Al、Si-Al-Fe和Si-Ti-Fe相转变成FeSi_2Ti、Si-Ti-Fe(τ5)和Si-Fe-Al相。采用原...
关键词:工业硅 酸洗 湿法冶金 杂质 
Redistribution of iron during directional solidification of metallurgical-grade silicon at low growth rate被引量:2
《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》2016年第3期859-864,共6页甘传海 方明 张磊 邱实 李锦堂 姜大川 温书涛 谭毅 罗学涛 
Projects(51334004,51204143)supported by the National Natural Science Foundation of China;Project(2006L2003)supported by the Scientific Technological Innovation Platform of Fujian Province,China
Redistribution of iron during directional solidification of metallurgical-grade silicon (MG-Si) was conducted at low growth rate. Concentrations of iron were examined by ICP-MS and figured in solid and liquid phases, ...
关键词:directional solidification metallurgical-grade silicon REDISTRIBUTION IRON grain boundary 
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