聂超

作品数：3被引量：2H指数：1
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供职机构：南京大学更多>>
发文主题：氮化铝蓝宝石单晶结构晶系纳米线更多>>
发文领域：电子电信医药卫生一般工业技术更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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Mg掺杂AlGaN的特性研究被引量：1
《微纳电子技术》2008年第9期512-515,541,共5页吴超 谢自力 张荣 张曾 刘斌 刘启佳 聂超 李弋 韩平 陈鹏 陆海 郑有炓 
国家重点基础研究发展规划973资助项目(2006CB6049);国家高技术研究发展规划资助项目(2006AA03A103,2006AA03A11,2006AA03A142);国家自然科学基金资助项目(60721063,60676057,60731160628,60776001);国家基础科学人才培养基金资助项目(J0630316);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20050284004)
采用金属有机物化学气相淀积方法在Al2O3衬底上生长不同浓度Mg掺杂的AlxGa1-xN合金薄膜,并在750℃、N2气氛下对Mg进行热退火激活。用X射线衍射ω-2θ扫描计算确定样品的Al组分,发现Mg摩尔掺杂浓度和退火对Al组分均未产生明显影响。X射...
关键词：AlGaN薄膜 Mg掺杂 热退火 表面形貌 阴极射线发光 
两步法生长氮化铝中缓冲层和外延层工艺研究
《中国科学（E辑）》2008年第7期1080-1084,共5页刘启佳 张荣 谢自力 刘斌 徐峰 姚靖 聂超 修向前 韩平 郑有炓 龚海梅 
国家重点基础研究发展规划973项目(批准号:2006CB6049);国家高技术研究发展规划、国家自然科学基金(批准号:6039072,60776001,60421003,60676057);高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20050284004);江苏省自然科学基金项目(批准号:BK2005210)
研究了利用有机化学气相沉积外延方法在c面宝石(α-Al2O3)衬底上两步法外延生长的氮化铝薄膜.缓冲层采用氮化铝成核层.原位反射谱表明氮化铝成核过程有别于氮化镓缓冲层成核,在优化的条件下显示出单一晶面取向.同时,X射线衍射分析表明...
关键词：氮化铝 MOCVD 反射谱 XRD 透射光谱 
一维AlN纳米结构制备进展被引量：1
《微纳电子技术》2007年第9期868-874,905,共8页童麟 谢自力 修向前 张琦 聂超 刘斌 张荣 
国家重点基础研究发展规划(2006CB6049);国家高技术研究发展规划(2006AA03A103;2006AA03A142);国家自然科学基金(60421003;60676057);教育部重大项目(10416);高等学校博士学科点专项科研基金(20050284004);江苏省自然科学基金(BK2005210)
采用CVD、碳纳米管模板法等方法已经制成了纳米线、纳米管等多种结构;同时研制成功多种一维纳米结构的阵列。用CVD方法合成的AlN纳米线直径为几十纳米、纳米线长度可以达到几十微米;用碳纳米管模板法可以控制AlN纳米线的直径。同时,AlN...
关键词：氮化铝 一维 纳米结构 
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