董位

作品数：1被引量：7H指数：1
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供职机构：江苏大学能源与动力工程学院更多>>
发文主题：沉积温度GAN薄膜蓝宝热应力数值模拟更多>>
发文领域：一般工业技术更多>>
发文期刊：《激光与光电子学进展》更多>>
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蓝宝石基GaN薄膜的热应力模拟分析被引量：7
《激光与光电子学进展》2013年第7期174-178,共5页董位 左然 赖晓慧 师珺草 
国家自然科学基金(61176009)
利用有限元分析软件ANSYS对蓝宝石基GaN薄膜的应力进行了模拟分析,并通过理论计算验证了其合理性。模拟出了蓝宝石基GaN薄膜应力的分布情况。分析了应力与沉积温度、薄膜厚度、衬底厚度的关系,同时研究了不均匀温度分布对应力的影响。...
关键词：薄膜 GAN薄膜 热应力 沉积温度 数值模拟 
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