赖晓慧

作品数：2被引量：7H指数：1
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供职机构：江苏大学能源与动力工程学院更多>>
发文主题：数值模拟沉积温度GAN薄膜蓝宝热应力更多>>
发文领域：一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《激光与光电子学进展》《发光学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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HVPE反应器的环形分隔进口数对生长均匀性的影响
《发光学报》2013年第6期797-802,共6页赖晓慧 左然 师珺草 刘鹏 童玉珍 张国义 
国家自然科学基金(61176009);国家重点基础研究发展计划(2011CB013101)资助项目
利用FLUENT软件对3种环形分隔进口(4环、8环、12环)的氢化物气相外延(HVPE)反应器的生长均匀性进行了二维数值模拟研究。分别考虑输运模型和输运-生长模型,模拟过程保持相同的GaCl、NH3及N2气体进口流量。结果显示:在只考虑输运的模型中...
关键词：HVPE GAN 环形进口 反应器设计 数值模拟 
蓝宝石基GaN薄膜的热应力模拟分析被引量：7
《激光与光电子学进展》2013年第7期174-178,共5页董位 左然 赖晓慧 师珺草 
国家自然科学基金(61176009)
利用有限元分析软件ANSYS对蓝宝石基GaN薄膜的应力进行了模拟分析,并通过理论计算验证了其合理性。模拟出了蓝宝石基GaN薄膜应力的分布情况。分析了应力与沉积温度、薄膜厚度、衬底厚度的关系,同时研究了不均匀温度分布对应力的影响。...
关键词：薄膜 GAN薄膜 热应力 沉积温度 数值模拟 
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