郑丽娜

作品数：4被引量：16H指数：2
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供职机构：中北大学更多>>
发文主题：MEMS白光干涉应力硅谐振器更多>>
发文领域：电气工程电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《高等学校化学学报》《传感技术学报》《中国机械工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金电子测试技术国家重点实验室基金山西省回国留学人员科研经费资助项目更多>>
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改进的MnO_x-CeO_2复合氧化物催化剂上甲烷低温催化燃烧被引量：4
《高等学校化学学报》2007年第6期1178-1180,共3页士丽敏 储伟 郑丽娜 陈慕华 瞿芬芬 罗仕忠 
国家自然科学基金(批准号:205903603)资助
MnOx-CeO2 mixed oxide catalysts for methane combustion were prepared with co-precipitation me-thod.With the same content of Mn,the modified catalysts were gained via adding KMnO4.These catalysts were characterized wit...
关键词：甲烷 催化燃烧 低温活性 固溶体 MnOx-CeO2 复合氧化物 
基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统被引量：1
《中国机械工程》2006年第S2期306-309,共4页郑丽娜 薛晨阳 张文栋 张斌珍 桑胜波 
国家自然科学基金资助重点项目(50535030);电子测试技术国家级重点实验室开放基金;微米纳米加工技术国家级重点实验室开放基金;山西省归国留学人员基金
微机电系统(MEMS)动态应力的瞬态特性决定了传统的应力测试系统无法直接满足它的测试需要。介绍了一种依据高频调制原理设计实现的基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统,该测试系统是一个典型的光—机—电集成的MEMS测试系统。利用此...
关键词：动态应力 MEMS 拉曼光谱仪 高频调制 测试系统 
利用白光干涉原理测量MEMS深槽结构被引量：10
《传感技术学报》2006年第05A期1516-1518,1522,共4页薛晨阳 孔繁华 张文栋 熊继军 张斌珍 郑丽娜 
国家自然科学基金重点项目资助(50535030);电子测试技术国家重点实验室基金资助;山西省外国留学人员基金资助
利用白光干涉仪测量形貌,实现对MEMS深槽结构的几何尺寸和三维形貌的分析.实验采用样品为硅栅,测得沟槽的深度为89.78μm,沟槽宽度22.6μm,深宽比为4∶1,得到清晰的三维形貌图.经过对不同沟槽的测量发现,当槽结构的宽大于5μm时,经倾斜...
关键词：白光干涉 MEMS 三维形貌测试 
基于硅微梳齿型谐振器的MEMS动态测试研究被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1531-1534,共4页郑丽娜 薛晨阳 张文栋 熊继军 张斌珍 孔繁华 
国家自然科学基金项目资助(50535030);电子测试技术国家级重点实验室开放基金资助
在利用激光多普勒对硅微梳齿型谐振器多阶振动频率进行提取的基础上,结合频闪显微干涉测试技术对其谐振频率及其振幅进行了动态测试,并根据测试结果推导了谐振器的动态应力值.实验测试结果及应力推导结果与ANSYS的仿真结果相符合.
关键词：谐振频率 振幅 应力 
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