王华清

作品数:6被引量:27H指数:3
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供职机构:北京理工大学更多>>
发文主题:薄膜应力光学薄膜哈特曼传感器光子晶体光斑更多>>
发文领域:理学一般工业技术电子电信机械工程更多>>
发文期刊:《北京理工大学学报》《红外与激光工程》《光学学报》《现代显示》更多>>
所获基金:国家部委预研基金北京市自然科学基金更多>>
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基片材料与沉积参数对薄膜应力的影响被引量:12
《光学学报》2010年第2期602-608,共7页李玉琼 喻志农 王华清 卢维强 薛唯 丁瞾 
国家部委预研项目(51302060203)资助课题
采用哈特曼-夏克传感器的薄膜应力在线测量仪测量了利用离子辅助电子束蒸发的Si O2,Ti O2,Ta2O5,Al2O3与ITO薄膜在不同厚度时的应力值,并深入研究了基片材料与沉积参数对Si O2,Ti O2薄膜应力的影响。研究结果表明,在成膜的初始阶段,薄...
关键词:薄膜光学 薄膜应力 哈特曼-夏克传感器 基片材料 沉积参数 离子辅助沉积 
基于哈特曼原理的薄膜应力在线测量系统被引量:1
《红外与激光工程》2009年第1期120-125,共6页王华清 薛唯 卢维强 李夏 张楠 
介绍了一种基于哈特曼传感器的薄膜应力在线检测系统。哈特曼透镜阵列将待测量表面划分成若干小区域,通过测量每个小区域成像光斑的相对位置变化来获得整个测量表面的变形量,将测得的变形量代入到薄膜应力与基板表面变形的关系式中,求...
关键词:薄膜应力 在线测量 哈特曼传感器 
不同制备方法对薄膜性能的影响被引量:1
《北京理工大学学报》2008年第10期930-933,共4页王华清 卢维强 郝孟尧 薛唯 
采用离子束反应溅射、等离子体辅助、射频离子源辅助、Kaufman离子源辅助比较不同制备方法对薄膜性能的影响.镀制了Ta2O5、SiO2两种材料的单层膜及由它们组成的多层膜.结果表明:离子束反应溅射能够制备出质量最好的激光膜,抗激光损伤阈...
关键词:薄膜特性 散射 吸收 应力 
离子辅助反应蒸发技术室温制备ITO薄膜被引量:6
《北京理工大学学报》2007年第10期924-927,共4页喻志农 相龙锋 薛唯 王华清 卢维强 
北京市自然科学基金资助项目(3063022);北京理工大学优秀青年教师资助计划(059852);北京理工大学基础研究基金资助项目(200501F4220)
室温下利用离子辅助反应蒸发法在玻璃衬底上制备高透射比、低电阻率的ITO透明导电薄膜.实验结果表明离子辅助蒸发可以有效地降低制备温度,提高薄膜的光电特性,薄膜具有明显的(222)择优取向,晶体粒子尺寸约为21 nm;离子源屏压、通氧量及...
关键词:离子辅助反应蒸发技术 室温 ITO薄膜 
光学薄膜及其应用被引量:7
《现代显示》2007年第3期6-9,共4页卢维强 王华清 肖畅 杨朝佳 
从光学薄膜干涉原理出发,说明了光学薄膜的工作原理。文中对减反膜、高反膜、分光膜、滤光膜等几种典型的膜系加以说明。文章最后对光学薄膜的制备加以简要介绍。
关键词:光学薄膜 光学干涉 薄膜制造 薄膜应用 
金属/介质透明电极优化设计
《光学技术》2006年第z1期34-36,共3页李丽 王华清 薛唯 卢维强 
结合光子晶体和光学多层膜理论对金属/介质一维光子晶体(MD-PBG)透明电极进行优化设计,得到了在可见区有很高的透过率,而在红外波段有非常高的反射率的设计结果,并用真空热蒸镀的方法制造了与理论设计相符合的具有良好光学和电学性能的...
关键词:光子晶体 光学多层膜 MD-PBG 透明电极 
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