王珣

作品数：4被引量：14H指数：4
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：极紫外多层膜紫外光刻紫外波段极紫外光刻更多>>
发文领域：理学机械工程核科学技术更多>>
发文期刊：《质谱学报》《光学学报》更多>>
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极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征被引量：4
《光学学报》2015年第3期403-410,共8页王珣 金春水 李春 匡尚奇 
国家重大科技专项
极紫外(EUV)反射镜在使用过程中的氧化及表面碳污染沉积,严重影响了极紫外光刻(EUVL)技术的工业应用。为了延长EUV反射镜的稳定性与使用寿命,一般采取在Mo/Si多层膜表面添加保护层。采用直流反应磁控溅射技术,建立氧气流量与溅射电压之...
关键词：薄膜 极紫外保护层 直流反应磁控溅射 迟滞回线 
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型被引量：4
《光学学报》2014年第5期291-297,共7页王珣 金春水 匡尚奇 喻波 金方圆 
国家重大科技专项
极紫外光刻（EUVL）是最有可能实现22 nm技术节点的下一代光刻技术。极紫外（EUV）光刻系统使用波长为13．5 nm，在此波段下曝光设备只能采用全反射式系统。然而，在极紫外光辐照下的光学元件，薄膜表层的碳化和氧化是导致EUV反射膜反...
关键词：薄膜 极紫外光刻 碳沉积模型 迭代法 
极紫外光学器件辐照污染检测技术被引量：4
《中国光学》2014年第1期79-88,共10页王珣 金春水 匡尚奇 喻波 
国家科技重大专项(02专项)资助项目
总结并讨论了极紫外光刻技术中,有关极紫外光学器件受辐照污染的"在线"检测方法。简要介绍了极紫外光刻系统的原理、反射镜膜层结构以及表面污染产生的机理;指出光刻系统中"在线"检测的技术要求;分析了目前几种主要表面检测技术的特点;...
关键词：极紫外光刻 碳污染检测 光纤椭偏仪 
高分辨飞行时间质谱仪的原理及设计被引量：4
《质谱学报》1998年第1期6-11,共6页郁昆云 彭建和 韩俊 高松梅 周红华 相秉仁 盛龙生 王珣 张蕾 黄水英 汪国良 李士丽 王成智 
讨论了影响飞行时间质谱仪分辨率的因素，包括基质辅助激光解吸离子化所产生的对分辨率的影响因素。参照近代文献资料，提出了自行设计制造的飞行时间质谱仪的基本设计方案，指出这种仪器在我国的应用前景。
关键词：飞行时间质谱仪 TOFMS 原理 设计 分辨率 
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