聂君兰

作品数：3被引量：8H指数：1
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供职机构：深圳大学更多>>
发文主题：磁控溅射ECR过渡层类金刚石薄膜DLC薄膜更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信核科学技术理学更多>>
发文期刊：《稀有金属与硬质合金》《润滑与密封》《工具技术》更多>>
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ECR结合磁控溅射——制备DLC薄膜的新方法
《工具技术》2008年第3期69-71,共3页聂君兰 谷坤明 汤皎宁 
深圳市科技计划项目(项目编号:QK200601)
介绍了新型的结合电子回旋共振(ECR)微波等离子体气相沉积与磁控溅射镀膜特点的ECR-650型镀膜系统,并利用该系统通过溅射石墨靶和金属钛靶在不锈钢基底上制备了具有Ti/TiNx/TiNxCy中间层结构的C薄膜。由于镀膜工艺问题,得到的薄膜主要...
关键词：含金属C薄膜 ECR溅射镀膜 磁控溅射 石墨靶 
过渡层类型对类金刚石薄膜性能的影响被引量：8
《润滑与密封》2008年第2期87-89,108,共4页聂君兰 谷坤明 汤皎宁 刘力 
深圳市科技计划项目(QK200601)
采用电子回旋微波等离子体气相沉积和磁控溅射法相结合的方法,通过石墨靶材和金属钛靶在不锈钢和Al2O3陶瓷基片上沉积了具有不同过渡层的含钛的C薄膜,研究了不同薄膜与衬底的中间层类型对薄膜的表面形貌、硬度、摩擦磨损性能、表面能的...
关键词：ECR镀膜 类金刚石薄膜 含金属碳膜 缓冲过渡层 
气源流量对所制备Me-DLC膜性能的影响
《稀有金属与硬质合金》2008年第1期34-37,共4页聂君兰 谷坤明 汤皎宁 麦达宇 樊璠 
深圳市科技计划项目(QK200601)
介绍了一种新型的DLC膜制备方法——ECR(电子回旋共振)微波等离子体气相沉积结合磁控溅射的方法。采用该法通过溅射石墨靶和金属钛靶在不锈钢基底上制备了具有Ti/TiN/TiN(N,C)中间层结构的碳薄膜。研究了制备时不同气源流量对薄膜的表...
关键词：Me-DLC膜 ECR溅射镀膜 磁控溅射 气源流量 
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