许俊涛

作品数：2被引量：5H指数：2
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供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心更多>>
发文主题：磁电阻LIGACO掩模NI更多>>
发文领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>
发文期刊：《磁性材料及器件》《微细加工技术》更多>>
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用金刚石薄膜制造X射线掩模版被引量：3
《微细加工技术》1998年第1期37-42,共6页张文华 丁桂甫 王谦 许俊涛 张寿柏 
用金刚石薄膜作为支撑层，金作为吸收体；同时，采用Ｎｉ合金过渡层来解决金刚石与金之间结合力小，热匹配性能差等问题。制作的掩模版具有较好的反差效果。同时，还具有工艺简单，成品率高等特点。
关键词：LIGA X射线掩模版 金刚石薄膜 掩模 
Ni_(65)Co_(35)薄膜各向异性磁电阻性能的研究被引量：2
《磁性材料及器件》1997年第4期26-30,共5页许俊涛 张寿柏 杨春生 
选用Ni_(65)Co_(35)合金靶材，利用射频磁控溅射的方法成膜，采用四探针法测量磁电阻率，分别研究了溅射工艺参数（工作气压、偏压、功率、基片温度等）对薄膜磁电阻性能的影响，并对影响机理作了理论上的分析；另外还对Ni_(65)Co_(35)...
关键词：各向异性 磁电阻 射频磁控溅射 Ni65Co35薄膜 
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