万文艳

作品数：3被引量：10H指数：2
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：高阶曲率补偿基准电压源曲率补偿电压基准源电流更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《微电子学》《半导体技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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一种带温度补偿的高精度片上RC振荡器被引量：8
《微电子学》2015年第1期58-62,共5页董春雷 宁振球 金星 张正民 万文艳 
国家极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项(2012ZX02503-003)
介绍了一款带有高阶温度补偿和数字修调功能的高精度片上RC振荡器。由于采用了2阶温度补偿方案,该时钟振荡器在较宽的温度范围内实现了振荡频率的高稳定性。由于采用电流数字修调技术,因此减小了工艺漂移对输出中心频率的影响。另外,应...
关键词：RC振荡电路 2阶温度补偿 工艺漂移 数字修调 
可修调的高阶曲率补偿基准电压源被引量：2
《微电子学》2014年第6期759-762,766,共5页万文艳 程新红 宁振球 董春雷 
国家极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项资助项目(2012ZX02503-003)
设计了一款带有误差放大器和电阻修调电路的分段曲率补偿基准电压源。通过分段电流补偿降低了温度系数;采用数字修调网络和熔丝修调网络,减小了电阻随机误差;采用误差放大器提高了电源抑制比,使基准电压精度得到显著提高。电路基于XFAB ...
关键词：带隙基准源 曲率补偿 数字修调 熔丝修调 
PEALD HfO_2栅介质薄膜的界面优化及其特性表征
《半导体技术》2013年第10期755-759,共5页徐大伟 程新红 曹铎 郑理 万文艳 俞跃辉 
国家重大研究计划资助的课题(2009ZX02039-006);国家自然科学基金资助项目(11175229)
采用等离子体增强原子层沉积技术在Si衬底上制备了HfO2栅介质薄膜。为了抑制HfO2薄膜与Si衬底间界面层的生长,首先对Si衬底进行了原位的氧等离子体和氨等离子体预处理,高分辨透射电子显微镜被用来表征HfO2薄膜和界面层的厚度及形态。当...
关键词：等离子体预处理 等离子体增强原子层沉积（PEALD） 氧化铪 高介电常数材 料 界面优化 
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