候永

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：四川大学物理科学与技术学院物理学系更多>>
发文主题：6H-SICSICN型互扩散氢化更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《四川大学学报（自然科学版）》更多>>
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H_2表面处理形成Al/n型6H-SiC欧姆接触及其退化机制被引量：1
《四川大学学报（自然科学版）》2003年第3期488-491,共4页邬瑞彬 候永 洪根深 龚敏 
作者通过氢气表面热处理,获得了具有较好特性的Al/n 6H SiC欧姆接触.在这种H2处理后的SiC表面,可以直接通过蒸铝(Al)形成欧姆接触,而无须进行退火处理.该方法也适用于低掺杂外延层上的欧姆接触.XPS测试表明,这种欧姆接触是在400℃以上...
关键词：6H—SiC 欧姆接触 氢化 退火 互扩散 
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