邬瑞彬

作品数：3被引量：6H指数：2
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供职机构：四川大学物理科学与技术学院物理学系更多>>
发文主题：6H-SIC欧姆接触N型SIO2SIO更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《四川大学学报（自然科学版）》更多>>
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利用红外反射光谱法研究6H-SiC表面的SiO_2特性被引量：3
《四川大学学报（自然科学版）》2003年第4期707-710,共4页刘洪军 王鸥 邬瑞彬 龚敏 
通过干氧氧化的方法,在6H SiC表面生长一层SiO2层,接着置于N2气氛中经过不同的温度退火,使用红外显微仪分别测量退火前后的红外反射谱,通过观测表面氧化层SiO2的红外反射谱图中特征反射峰位(1090cm-1附近)的变化,以判断退火前后表面氧...
关键词：6H-SIC SIO2 红外反射 退火 密度 
H_2表面处理形成Al/n型6H-SiC欧姆接触及其退化机制被引量：1
《四川大学学报（自然科学版）》2003年第3期488-491,共4页邬瑞彬 候永 洪根深 龚敏 
作者通过氢气表面热处理,获得了具有较好特性的Al/n 6H SiC欧姆接触.在这种H2处理后的SiC表面,可以直接通过蒸铝(Al)形成欧姆接触,而无须进行退火处理.该方法也适用于低掺杂外延层上的欧姆接触.XPS测试表明,这种欧姆接触是在400℃以上...
关键词：6H—SiC 欧姆接触 氢化 退火 互扩散 
通过改变费米能级钉扎效应制备6H-SiC欧姆接触的特性研究被引量：3
《四川大学学报（自然科学版）》2002年第3期492-494,共3页洪根深 廖勇明 廖伟 丁元力 邬瑞彬 刘洪军 龚敏 
作者通过氧化、刻蚀和沸水处理的方法 ,在n型 6H SiC的C面上制备了线性较好的欧姆接触 .作者对C面和Si面的欧姆接触的退火特性进行了比较和研究 ;并对形成欧姆接触的物理机理进行了讨论 ,研究了这种欧姆接触在大密度电流下的特性 .
关键词：6H-SIC 费米能级钉扎 欧姆接触 
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