傅英

作品数:1被引量:1H指数:1
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供职机构:中国科学院物理研究所更多>>
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纳米器件的制备、表征及其应用被引量:1
《物理》2002年第1期4-6,共3页王太宏 赵继刚 傅英 李宏伟 李卫 王春花 王振霖 庞科 刘淑琴 符秀丽 
国家自然科学基金 (批准号 :6 992 5 410 1990 40 15 )
利用建立的常规光刻法的纳米加工工艺系统 ,研制碳纳米管晶体管、单电子晶体管和单电子晶体集成的纳米器件 .研制出了 90K的单电子晶体管 ,实现了两单电子晶体管的电容耦合集成。
关键词:纳米器件 碳纳米管晶体管 单电子晶体管 纳米加工 制备 表征 
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