王振霖

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
发文主题：阳极氧化法阳极氧化纳米单电子晶体管碳纳米管晶体管更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《微电子技术》《物理》更多>>
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纳米器件的制备、表征及其应用被引量：1
《物理》2002年第1期4-6,共3页王太宏 赵继刚 傅英 李宏伟 李卫 王春花 王振霖 庞科 刘淑琴 符秀丽 
国家自然科学基金 (批准号 :6 992 5 410 1990 40 15 )
利用建立的常规光刻法的纳米加工工艺系统 ,研制碳纳米管晶体管、单电子晶体管和单电子晶体集成的纳米器件 .研制出了 90K的单电子晶体管 ,实现了两单电子晶体管的电容耦合集成。
关键词：纳米器件 碳纳米管晶体管 单电子晶体管 纳米加工 制备 表征 
基于阳极氧化法的纳米结构加工和纳米器件的制备被引量：2
《微电子技术》2001年第5期17-21,共5页王振霖 王太宏 
国家自然科学基金 (批准号 :6 992 5 410 ;1990 40 15 )资助项目
本文报导了阳极氧化法实现纳米加工的技术研究和在纳米器件研究中的应用 ,特别讨论了实验装置的改进。
关键词：阳极氧化 纳米结构 纳米器件 加工工艺 
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