孟凡涛

作品数：5被引量：35H指数：4
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：埋层严格耦合波理论亚波长光栅纳米压印干法刻蚀工艺更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《光子学报》《半导体技术》《半导体光电》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家留学基金更多>>
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基于SOI的蓝紫光探测器的设计被引量：1
《半导体光电》2009年第5期656-659,共4页韩志涛 褚金奎 孟凡涛 郭庆 
国家"973"计划项目(2006CB300407)
针对仿生微纳导航传感器对380～520nm波长的探测要求,从Lambert定理出发,设计了一种蓝紫光探测器,并对器件的结构和工艺进行了优化分析。利用SOI硅片上薄的单晶硅层,实现了较高的蓝紫光响应度,同时抑制了可见光中的长波和近红外光的响...
关键词：光电探测器 SOI硅片 光谱响应 减反射膜 
面形误差对亚波长金属光栅偏振器性能的影响被引量：7
《光子学报》2009年第4期951-955,共5页孟凡涛 褚金奎 韩志涛 郭庆 
973国家重点基础研究与发展计划(2006CB00407);国家自然科学基金(50775017);新世纪优秀人才基金(NCET-04-0266)资助
基于严格耦合波理论分析了光栅面形误差对亚波长金属光栅偏振器偏振性能的影响.通过对数值结果的分析发现,光栅圆角误差、光栅侧壁倾斜误差和光栅表面粗糙误差对光栅的TM透射效率影响不大,但它们使得光栅的消光比明显降低.因此,面形误...
关键词：亚波长光栅 亚波长金属光栅偏振器 面形误差 严格耦合波理论 TM透射效率 消光比 
热压印中聚合物填充过程的仿真分析被引量：5
《半导体技术》2008年第11期976-980,共5页褚金奎 郭庆 孟凡涛 韩志涛 
国家重点基础研究发展计划973项目(2006CB300407);国家自然科学基金项目(50775017)
基于有限元方法并借助ANSYS软件对热压印过程中二维的聚合物填充过程进行模拟。聚合物加热温度高于剥离转化温度时,采用Mooney-Rivlin模型表示聚合物的机械性能。详细分析了深宽比、凹槽宽度、占空比、摩擦系数对聚合物变形的影响。数...
关键词：热压印 聚合物 深宽比 凹槽宽度 占空比 摩擦系数 
亚波长金属光栅偏振器设计被引量：8
《纳米技术与精密工程》2007年第4期269-272,共4页孟凡涛 褚金奎 韩志涛 赵开春 
国家重点基础研究发展计划(973)项目(2006CB300407)
针对仿生微纳导航传感器敏感波段380～520nm的要求，基于严格耦合波理论，设计了一种适用于蓝紫光波段的金属光栅偏振器，并应用等效介质理论直观地分析了金属光栅偏振器的工作原理．所设计的金属光栅偏振器与传统的金属光栅偏振器的不...
关键词：亚波长光栅 金属光栅偏振器 严格耦合波理论 等效介质理论 
基于严格耦合波理论的亚波长金属光栅偏振器设计被引量：20
《传感技术学报》2006年第05A期1739-1743,共5页张娜 褚金奎 赵开春 孟凡涛 
国家重点基础研究发展计划项目(2006CB300407);教育部新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-04-0266)
亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊性质.针对仿生微纳导航系统敏感波段0.52-0.59μm的要求,采用严格耦合波理论分析了不同光栅材料、光栅面型及光栅结构参数对TM偏振透射率及透射消光比的影响,设计了对应的金属偏振光栅.所...
关键词：二元光学 亚波长光栅 严格耦合波分析 金属光栅偏振器 
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