王争

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发文主题：光致抗蚀剂光解光产酸剂量子效率更多>>
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几种硫鎓盐类光产酸剂的合成与性质
《影像技术》2011年第4期13-16,12,共5页刘娟 王争 王力元 
北京市自然科学基金(批准号:2082014)的支持
硫鎓盐类光产酸剂因其较高的产酸效率和好的热稳定性而广泛应用于化学增幅光致抗蚀剂中。本论文选择不同的酚化合物为原料,使之与二甲基亚砜和氯化氢反应,合成了一系列硫鎓盐化合物,研究了其在有机溶剂中的溶解性、热稳定性、紫外吸收...
关键词：光产酸剂 光致抗蚀剂 硫鎓盐 光解 量子效率 
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