王学锋

作品数:5被引量:28H指数:3
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供职机构:北京有色金属研究总院更多>>
发文主题:数值模拟硅单晶提拉法直拉硅单晶扁挤压筒更多>>
发文领域:理学电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊:《稀有金属》《人工晶体学报》更多>>
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液面位置对Φ300mm硅单晶固液界面形状影响的数值计算被引量:4
《人工晶体学报》2008年第6期1571-1574,共4页王学锋 高宇 戴小林 吴志强 张国虎 周旗钢 
国际科技合作重点项目计划(No.2007DFC50310)
数值模拟技术已经成为分析和优化工业化晶体生长工艺必不可少的工具。本文利用有限元分析软件计算了300mm直拉硅单晶生长过程中,不同液面位置时的晶体固液界面形状,模拟计算考虑了热传导、辐射、气流等物理现象,分析了晶体长度和液面...
关键词:直拉硅单晶 固液界面 液面位置 数值模拟 
大直径直拉硅单晶炉热场的数值模拟被引量:11
《稀有金属》2004年第5期890-893,共4页王学锋 翟立君 周旗钢 王敬 戴小林 吴志强 
国家计委超大规模集成电路用 12英寸硅单晶研制子项目
数值模拟技术已经成为分析和发展工业化晶体生长工艺必不可少的工具。提出了直拉硅单晶生长过程温度分布的有限元模拟 ,通过对3 0 0mm单晶炉内热场的数值模拟计算 ,得出了晶体生长不同阶段的单晶炉内温度分布及相应的温度梯度和热流密...
关键词:直拉硅单晶 热场 数值模拟 
勾形磁场下提拉法生产单晶硅的数值模拟被引量:11
《人工晶体学报》2004年第2期217-222,共6页宇慧平 隋允康 张峰翊 王学锋 
北京工业大学青年科技基金(JQ01005200372)资助项目
本文给出了提拉单晶硅时,勾形磁场强度的计算公式,并对单晶硅在有无勾形磁场情况下熔体内流场和氧的浓度分布进行了数值模拟,计算出磁场作用下磁场强度和洛伦兹力及有无磁场时流函数、垂直截面处的速度场和氧的浓度分布。通过分析表明,...
关键词:单晶硅 提拉法 勾形磁场 磁场强度 计算公式 洛伦兹力 
采用延时修正法实施QUICK格式模拟提拉单晶体的生长被引量:4
《人工晶体学报》2003年第6期648-656,共9页宇慧平 隋允康 张峰翊 王学锋 
北京工业大学青年科技基金(JQ0105200372)
为了数值模拟提拉(又名Czochralski)法获得单晶体的生长过程,本文采用有限容积法离散控制方程,采用非均匀的交错网格避免不合理的振荡压力场,采用三阶精度QUICK(Quadratic Upwind Interpolation of Convective Kinematics)格式离散对流...
关键词:QUICK格式 提拉法 单晶体 晶体生长 延时修正法 数值模拟 
扁挤压筒用固定挤压垫片的设计方案及受力分析被引量:2
《稀有金属》2001年第3期191-194,共4页王学锋 谢水生 刘静安 
在对传统的活动挤压垫片和圆筒用固定挤压垫片的主要结构的分析基础上 ,根据扁挤压筒的特定生产条件 ,提出了扁挤压筒用固定挤压垫片的一种设计方案 ,并进行了受力分析 ,得到了结构参数优化后的应力分布和变形情况。这可以对开展扁挤压...
关键词:扁挤压筒 固定挤压垫片 结构设计 应力分析 
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