王美成

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院数字制造与装备技术国家重点实验室更多>>
发文主题：光学元件非球面光学非球面非接触测量位姿误差更多>>
发文领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《半导体光电》《计测技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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圆片直接键合界面表面能测试研究
《半导体光电》2008年第3期379-382,共4页廖广兰 王美成 史铁林 史玉平 汤自荣 聂磊 
国家“973”计划资助项目(2003CB716207);国家自然科学基金资助项目(50405033,50775091)
基于裂纹传播扩散法,研究了键合圆片的表面能计算方法,推导出包括圆形、矩形、三角形等形状样品的平均表面能计算公式,并应用于硅片直接键合的表面能计算。应用实例表明,上述公式能方便地计算出键合圆片的平均表面能,实现对键合质量的...
关键词：圆片键合 界面 裂纹传播扩散 表面能 测试 
小型非球面光学元件测量技术研究被引量：4
《计测技术》2007年第4期1-4,13,共5页王美成 廖广兰 史铁林 
国家重大基础研究项目(2003CB716207);国家自然科学基金资助项目(50405033);日本三丰科学技术振兴协会资助项目
非球面光学元件应用越来越广泛,其测量技术非常关键。本文研究了小型非球面光学元件的各种面形测量方法,针对其测量原理进行了分类和对比,对其优缺点和适用范围进行了讨论,同时分析了各种测量方法实现的关键技术和面临的挑战。
关键词：非球面 光学元件 接触测量 非接触测量 
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