许沭华

作品数：2被引量：17H指数：2
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供职机构：中国科学院等离子体物理研究所更多>>
发文主题：感应耦合等离子体均匀性离子源中性化参数测量更多>>
发文领域：理学核科学技术更多>>
发文期刊：《核聚变与等离子体物理》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量被引量：6
《核聚变与等离子体物理》2004年第1期63-66,共4页许沭华 任兆杏 沈克明 
国家自然科学基金项目(19835030)
利用双探针对ECR PECVD装置中基片在射频偏置下的等离子体参数进行了测量。同时测量了在射频偏置下微波功率、磁场电流、进气量等参数对ECR PECVD等离子体参数的影响。结果表明,在ECR PECVD等离子体装置中,基片射频偏置对电子温度有影响...
关键词：射频偏置 ECR-PECVD 双探针 电子温度 等离子体密度 微波功率 磁场电流 
射频ICP离子源设计研究被引量：11
《真空科学与技术》2002年第4期310-312,共3页许沭华 任兆杏 沈克明 翁坚 
本文介绍了射频 (RF)感应耦合等离子体 (ICP)离子源的设计研究。对RFICP的结构、离子流的引出以及离子流的均匀性、中性化和射频匹配网络进行了研究。
关键词：射频ICP 离子源 设计 射频匹配网络 感应耦合等离子体 离子流 均匀性 中性化 
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