谢尚昇

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：广西大学物理科学与工程技术学院有色金属及材料加工新技术重点实验室更多>>
发文主题：ALN薄膜衬底工艺参数脉冲激光沉积TIN薄膜更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《材料导报》《真空》更多>>
所获基金：广西壮族自治区自然科学基金有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室开放基金广西研究生教育创新计划项目更多>>
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Si(100)衬底上激光分子束外延制备高质量TiN薄膜
《真空》2011年第3期55-57,共3页杨为家 谢尚昇 李雪飞 王云云 符跃春 
有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室开放基金(GXKFJ09-24;GXKFZ-05);广西壮族自治区研究生创新计划项目(105931003002)
采用激光分子束外延(LMBE)技术在Si(100)上制备了高质量的TiN薄膜。对N2分压和激光脉冲能量对TiN薄膜晶体结构、生长模式和表面形貌影响的研究表明,TiN单晶薄膜呈(200)择优取向,在N2分压为10-1 Pa时,薄膜的结晶度高且表面平整致密。随...
关键词：TIN薄膜 N2分压 激光脉冲能量 晶体结构 生长模式 
脉冲激光沉积AlN薄膜的结构表征和性能研究进展被引量：4
《材料导报》2010年第11期45-49,共5页谢尚昇 何欢 符跃春 
广西自然科学基金项目(桂科基0731005)
脉冲激光沉积法(PLD)以其低温成膜优势被公认为是宽禁带半导体AlN薄膜的优选制备方法。获得高质量的AlN薄膜需要最佳的薄膜/衬底匹配和工艺参数。综述了各种常见异质外延衬底与AlN薄膜的取向关系,分析了影响薄膜质量的工艺因素,介绍了...
关键词：脉冲激光沉积 ALN薄膜 衬底 工艺参数 性能 
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