张廷凯

作品数：3被引量：7H指数：2
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发文主题：沉孔样片阳极键合微机电系统工作台更多>>
发文领域：电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《宇航计测技术》《传感器与微系统》更多>>
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一种原子钟系统的碱金属腔体制备技术被引量：3
《传感器与微系统》2011年第2期74-76,80,共4页徐建 张廷凯 甘志银 刘胜 
国家"863"计划资助项目(2006AA04Z346)
简要介绍了相干布局数囚禁(CPT)原子钟的实现机理,对构成原子钟系统的碱金属腔及其制作方法进行论述。在对几种不同的碱金属腔制备技术对比的基础上,研制成功了原子钟腔体的专用键合设备,并成功进行了Rb腔的制作,Rb腔测试结果表明:腔体...
关键词：CPT原子钟 Rb腔 键合设备 微机电系统 
基于CPT原理原子钟的频率控制系统
《宇航计测技术》2009年第4期36-40,共5页张廷凯 甘志银 张鸿海 
国家高技术研究发展计划资助项目(No.2006AA04Z346)
在J.Vanier工作的基础上,根据CPT(Coherent Population Trapping:相干布局数囚禁)原子钟的系统组成和工作原理,导出了基于CPT原理原子钟的频率控制系统模型,对于基于CPT原理原子钟的分析和设计工作具有实际的指导意义。
关键词：原子钟 CPT 控制 
两电极多层阳极键合实验研究被引量：4
《传感器与微系统》2009年第7期21-23,共3页张廷凯 甘志银 张鸿海 
国家"863"计划资助项目(2006AA04Z346)
介绍了用2个电极通过一次电极反接的方式实现多层样片之间阳极键合的操作工艺和键合机理,并以玻璃—硅—玻璃三层结构为例对其进行了实验研究。结果显示:多余的玻璃对第一次键合过程的电流特性影响不大,而第一次键合的玻璃对第二次键合...
关键词：阳极键合 微机电系统 多层键合 封装 
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