张雪锋

作品数：2被引量：16H指数：2
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供职机构：华中科技大学物理学院物理系更多>>
发文主题：薄膜生长MONTE_CARLO模拟CU膜CARLO模拟溅射沉积更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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薄膜生长过程中孔洞填充的蒙特卡罗模拟被引量：2
《真空科学与技术学报》2005年第5期339-343,共5页刘祖黎 黄运米 张雪锋 魏合林 姚凯伦 
国家自然科学基金(No.10174023;90103034)资助项目
在一般的材料生长过程中,由于某些实验参数控制不当,比如生长过程中过高的沉积速率会导致局部的材料中出现孔洞,这种孔洞严重影响了薄膜材料的性能。本文以铜薄膜为例,利用动力学晶格蒙特卡罗方法,模拟了不同参数条件下对孔洞缺陷的影...
关键词：薄膜生长 孔洞 蒙特卡罗 
溅射沉积Cu膜生长的Monte Carlo模拟被引量：14
《真空科学与技术学报》2005年第2期83-87,114,共6页刘祖黎 张雪锋 姚凯伦 黄运米 
国家自然科学基金(No.10174023和90103034)资助课题
在本文中,我们建立了一个较完整的基于动力学晶格蒙特卡罗方法的模拟薄膜生长的三维模型,利用该模型我们研究了溅射沉积条件下粒子的沉积角度、沉积速率以及入射能量对Cu膜生长的影响。模拟结果表明Cu膜表面粗糙度会随沉积角度和沉积速...
关键词：CARLO模拟 溅射沉积 蒙特卡罗方法 沉积速率 表面粗糙度 薄膜生长 三维模型 沉积条件 入射能量 模拟结果 相对密度 三维形貌 柱状结构 动力学 CU膜 增大 晶格 粒子 
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