李鹤

作品数：2被引量：4H指数：1
导出分析报告
供职机构：南开大学更多>>
发文主题：多晶硅表面修饰多晶硅薄膜多晶硅薄膜晶体管晶粒更多>>
发文领域：理学电气工程更多>>
发文期刊：《光电子技术》《物理学报》更多>>
所获基金：天津市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
晶化多晶硅氢等离子钝化处理的优化研究被引量：3
《光电子技术》2010年第3期172-178,共7页罗翀 李娟 李鹤 孟志国 熊绍珍 郭海成 张志林 
以衬底温度和射频(RF)功率为调控晶化多晶硅薄膜的氢等离子钝化处理工艺的参数,借助发射光谱(OES)全程实时探测以及对氢化处理后薄膜的傅里叶变换红外吸收谱(FTIR)的分析,通过钝化前后薄膜电性能相对照,探讨工艺优化的微观机理。对于LP...
关键词：氢钝化处理 多晶硅薄膜 机制 
表面修饰改善溶液法金属诱导晶化薄膜稳定性与均匀性研究被引量：1
《物理学报》2008年第4期2476-2480,共5页李鹤 李学东 李娟 吴春亚 孟志国 熊绍珍 张丽珠 
国家高技术研究发展计划(批准号:2004AA303570);国家自然科学基金重点项目(批准号:60437030);天津市自然科学基金(批准号:05YFJMJC01400)资助的课题~~
提出了一种表面修饰的金属诱导晶化方法,以稳定地获得晶粒尺寸均匀的多晶硅薄膜.为在非晶硅表面获得均匀稳定的Ni源,在晶化前驱物表面浸沾Ni盐溶液之前,先旋涂一层表面亲合剂.通过控制Ni盐溶液的浓度,可以获得均匀性较好、晶粒尺寸分布...
关键词：表面修饰 溶液法金属诱导晶化 多晶硅 均匀性 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部