杨贵龙

作品数：2被引量：0H指数：0
导出分析报告
供职机构：黑龙江省光电技术研究所更多>>
发文主题：CVD金刚石膜抽气充气衬底更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《功能材料与器件学报》《信息技术》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
光子热丝法沉积金刚石膜(英文)
《功能材料与器件学报》2001年第3期311-313,共3页彭鸿雁 申家镜 杨贵龙 邵春雷 魏雪峰 杨广亮 金曾孙 
采用一种改进的热丝 CVD系统沉积金刚石膜。在传统热丝 CVD腔中设置一套红外线发 生器，中心波长 3.5μ m,处于氢与甲烷分子拉伸振动吸收峰位置。由于共振吸收能量使反应气 体分解加强 ,在反应区获得较高浓度的原子氢和活性碳氢基团...
关键词：光子热丝 金刚石膜 生长速率 CVD 
脉冲负偏压对热丝CVD金刚石膜形核及生长形貌的影响
《信息技术》2000年第9期11-12,共2页杨贵龙 魏雪峰 
脉冲负偏压形核可增加衬底形核密度 ,最高可达 10 8/cm2 ,且晶核分布均匀。在此种晶核基础上生长的金刚石膜的微观形貌中 ,取向为 [10 0
关键词：脉冲负偏压 形核 取向 CVD 金刚石膜 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部