云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 祐卫国

祐卫国: 作品数：1被引量：5H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：西南交通大学更多>>; 发文主题：超导薄膜氧化锌薄膜YBCO超导薄膜靶材二氧化钛薄膜更多>>; 发文领域：理学更多>>; 发文期刊：《发光学报》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金国家重点基础研究发展计划更多>>

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溅射气氛对RF反应磁控溅射制备ZnO薄膜微结构及光致发光特性的影响被引量：5: 《发光学报》2010年第4期503-508,共6页祐卫国张勇李璟杨峰 CHENG C H 赵勇; 国家自然科学基金(50588201,50872116);国家重大基础研究项目“973”(2007CB616906);国家高科技项目“863”(2007AA03Z203);高等学校博士点专项科研基金(SRFDP200806130023);西南交通大学科研基金(2008B15)资助项目; 用射频反应磁控溅射法在不同溅射压强和氩氧比下制备了ZnO薄膜,通过X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）和光致发光（PL）谱等研究了溅射压强和氩氧比对ZnO薄膜结构和光学性质的影响。测量结果显示,所制备的ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,具有...; 关键词：ZNO薄膜射频反应磁控溅射溅射压强氩氧比光致发光