于仕辉

作品数：3被引量：7H指数：2
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供职机构：河南大学物理与电子学院更多>>
发文主题：SNO2透明导电膜AG/SNO2磁控溅射光电性质更多>>
发文领域：理学一般工业技术电气工程电子电信更多>>
发文期刊：《电子元件与材料》《光子学报》更多>>
所获基金：河南省高校科技创新团队支持计划河南省教育厅自然科学基金河南省高校创新人才培养工程项目更多>>
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溅射压强对ATO透明导电薄膜性能的影响被引量：3
《电子元件与材料》2014年第1期9-11,共3页杨啸威 杨文豪 于仕辉 丁玲红 张伟风 
河南省高校科技创新团队计划资助项目(No.2012IRTSTHN004)
利用射频磁控溅射法在石英衬底上制备得到高质量的锑掺杂二氧化锡(ATO)透明导电薄膜,研究了溅射压强对ATO薄膜的结构和光电性能的影响。结果表明:溅射压强对ATO薄膜的相结构、择优生长取向和结晶质量均有一定的影响。所制薄膜的电阻率...
关键词：Sb—SnO2薄膜 磁控溅射 溅射压强 光学性能 电学性能 透明导电 
氧氩比对SnO_2/Ag/SnO_2透明导电膜光电性能的影响被引量：3
《光子学报》2012年第9期1086-1089,共4页于仕辉 丁玲红 薛闯 张伟风 
河南省高校科技创新团队计划(No.2012IRTSTHN004)支持;河南省教育厅自然科学基金(No.2009B48003)资助
在室温及不同的氧氩比条件下,采用射频磁控溅射Ag层和直流磁控溅射SnO2层,在载玻片衬底上制备出了SnO2/Ag/SnO2多层薄膜.用霍尔效应测试仪、四探针电阻测试仪和紫外-可见-近红外光谱仪等表征了薄膜的电学性质和光学性质.实验结果表明:...
关键词：磁控溅射 SnO2/Ag/SnO2 氧氩比 透明导电薄膜 
二氧化锡覆盖层对ITO透明导电薄膜热稳定性的改良被引量：1
《电子元件与材料》2012年第7期51-54,共4页于仕辉 丁玲红 张伟风 
河南省高校科技创新人才支持计划资助项目(No.2002006);河南省教育厅自然科学基金资助项目(No.2009B48003)
采用射频磁控溅射法在ITO玻璃表面沉积了一层15 nm左右的SnO2薄膜。利用霍尔效应测试仪、四探针电阻测试仪、场发射电子显微镜及紫外–可见–近红外光谱仪分析了所制薄膜的电学性质、表面形貌和光学性质。结果表明，在300~600 ℃退火后...
关键词：氧化铟锡(ITO) 磁控溅射 SNO2 热稳定性 
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