吕世功

作品数：2被引量：5H指数：1
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：类金刚石膜结合力多层复合膜铝基复合材料调制周期更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《真空》更多>>
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铝基复合材料表面多层复合厚膜的研究被引量：5
《真空科学与技术学报》2010年第5期505-509,共5页彭丽平 王兆松 李剑锋 吕世功 王春 武洪臣 巩水利 李国卿 
对含50%AlN颗粒的铝基复合材料进行预处理后,在其表面依次采用浸锌化学镀镍工艺制备Ni-P过渡层,采用脉冲偏压磁过滤多弧离子镀工艺沉积硬质Ti/TiN调制周期膜,采用脉冲等离子体化学气相沉积工艺制备含氢类金刚石(DLC)膜等工艺最后形成了...
关键词：多层复合膜 Ti/TiN调制周期膜 类金刚石膜 摩擦系数 结合力 
PECVD系统的等离子体诊断及DLC膜的结构和性能研究
《真空》2008年第5期31-34,共4页楚信谱 苟伟 李剑锋 张礼平 吕世功 李国卿 
类金刚石碳膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等显示出良好的应用前景,越来越受到人们的关注。本文首先利用朗谬耳探针对基底附近的等离子体特性进行了诊断,考察了离子电流密度与脉冲电压和工作气压...
关键词：等离子体诊断 PECVD DLC膜 RAMAN光谱 表面形貌 
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