曹永峰

作品数：2被引量：10H指数：2
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供职机构：复旦大学信息科学与工程学院微电子学系更多>>
发文主题：电阻温度系数微测辐射热计热敏材料氧化钒红外探测器更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《半导体技术》更多>>
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微测辐射热计用氧化钒薄膜制备及特性被引量：2
《微细加工技术》2002年第4期45-53,65,共10页茹国平 曹永峰 李炳宗 
热敏薄膜电阻制备是非致冷微测辐射热计红外焦平面的一项关键技术。对目前在非致冷微测辐射热计研制中得到成功应用的氧化钒薄膜的特性、制备及表征技术进行综述。氧化钒存在多种物相和结构 (VOx:0
关键词：微测辐射热计 制备 氧化钒 电阻温度系数 溅射 热敏薄膜电阻 
用于微测辐射热计的氧化矾热敏材料的温度特性被引量：8
《半导体技术》2002年第5期58-62,共5页曹永峰 蒋玉龙 段鹏 茹国平 李炳宗 陈永平 
氧化矾作为非制冷微测辐射热计的热敏材料,电阻率ρ和电阻温度系数TCR(Temperature Co-efficient of Resistance)是表征其性能的重要参数。通过对用离子束溅射得到的氧化矾薄膜在相同时间不同温度下的N2+H2退火实验,我们发现氧化矾薄膜...
关键词：微测辐射热计 氧化矾 热敏材料 温度特性 电阻温度系数 氮氢退火 红外探测器 
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