段鹏

作品数：2被引量：11H指数：2
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供职机构：复旦大学更多>>
发文主题：金属诱导结晶红外探测器温度特性微测辐射热计电阻温度系数更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《半导体技术》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：教育部留学回国人员科研启动基金国家自然科学基金更多>>
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Ni诱导非晶SiGe薄膜结晶被引量：3
《Journal of Semiconductors》2004年第11期1453-1457,共5页段鹏 屈新萍 刘萍 徐展宏 茹国平 李炳宗 
国家自然科学基金 (批准号 :60 2 0 60 0 2 );复旦大学青年基金;教育部留学回国人员启动基金资助项目~~
采用 Ni诱导结晶的方法在氧化硅衬底上制备多晶 Si Ge薄膜 .通过 X射线衍射 (XRD)、俄歇电子深度分布谱(AES)等测试方法对获得的多晶 Si Ge薄膜特性进行了表征 ,并对退火气氛中氧的存在对非晶 Si Ge结晶的影响进行了研究 .研究表明 Ni...
关键词：金属诱导结晶 非晶SiGe薄膜 固相结晶 
用于微测辐射热计的氧化矾热敏材料的温度特性被引量：8
《半导体技术》2002年第5期58-62,共5页曹永峰 蒋玉龙 段鹏 茹国平 李炳宗 陈永平 
氧化矾作为非制冷微测辐射热计的热敏材料,电阻率ρ和电阻温度系数TCR(Temperature Co-efficient of Resistance)是表征其性能的重要参数。通过对用离子束溅射得到的氧化矾薄膜在相同时间不同温度下的N2+H2退火实验,我们发现氧化矾薄膜...
关键词：微测辐射热计 氧化矾 热敏材料 温度特性 电阻温度系数 氮氢退火 红外探测器 
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