金属诱导结晶

作品数:6被引量:24H指数:3
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相关领域:电子电信一般工业技术更多>>
相关作者:段鹏屈新萍李炳宗王跃林金仲和更多>>
相关机构:三星SDI株式会社复旦大学泰拉半导体株式会社清华大学更多>>
相关期刊:《电子学报》《佛山科学技术学院学报(自然科学版)》《液晶与显示》《Journal of Semiconductors》更多>>
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基于金属诱导结晶生长多晶Ge薄膜的成核机理与动力学特征被引量:2
《佛山科学技术学院学报(自然科学版)》2017年第4期14-22,共9页董少光 庄君活 潘浩贤 曾亚光 
国家自然科学基金资助项目(11474053)
研究低温下利用金属Al对非晶Ge薄膜进行层交换结晶生长多晶Ge薄膜的动力学过程。实验观察到Ge原子从非晶Ge层穿过中间很薄的GeO_x界面层后,大量地迁移到金属Al层的表面,并对多晶Ge薄膜中Ge成核区域的面密度进行了测量,对GeO_x界面层进...
关键词:金属诱导结晶 多晶Ge 成核密度 退火温度 
非晶硅和非晶硅锗薄膜的金属诱导结晶被引量:1
《液晶与显示》2009年第3期356-366,共11页王光伟 张建民 倪晓昌 李莉 
天津市高校科技发展基金项目(No.20060605)
分析了金属Ni、Al诱导非晶Si及非晶SiGe薄膜结晶的条件、特点和机理。简要介绍了金属诱导结晶相对于其它一些结晶工艺的优势及其在薄膜晶体管中的应用。概述了影响诱导结晶速率和薄膜微结构的诸多因素,如热处理条件和外加电场等。对电...
关键词:金属诱导结晶 金属诱导横向结晶 固相反应 扩散 电场增强横向诱导结晶 成核激活能 晶粒生长 
Ni诱导非晶SiGe薄膜结晶被引量:3
《Journal of Semiconductors》2004年第11期1453-1457,共5页段鹏 屈新萍 刘萍 徐展宏 茹国平 李炳宗 
国家自然科学基金 (批准号 :60 2 0 60 0 2 );复旦大学青年基金;教育部留学回国人员启动基金资助项目~~
采用 Ni诱导结晶的方法在氧化硅衬底上制备多晶 Si Ge薄膜 .通过 X射线衍射 (XRD)、俄歇电子深度分布谱(AES)等测试方法对获得的多晶 Si Ge薄膜特性进行了表征 ,并对退火气氛中氧的存在对非晶 Si Ge结晶的影响进行了研究 .研究表明 Ni...
关键词:金属诱导结晶 非晶SiGe薄膜 固相结晶 
金属诱导非晶硅(横向)结晶的扩散诱导模型
《汕头大学学报(自然科学版)》2004年第1期46-49,54,共5页邱春文 罗以琳 
为了能定性定量解释金属诱导非晶硅薄膜结晶实验中所遇到的一系列现象 ,提出一套扩散诱导结晶模型 。
关键词:金属诱导结晶 非晶硅薄膜 扩散诱导模型 半导体 横向结晶 
金属诱导非晶硅横向结晶机理研究被引量:8
《电子学报》2001年第8期1079-1082,共4页金仲和 王跃林 
本文主要研究金属诱导横向结晶速度与工艺条件的关系 ,探讨隐含在这些关系背后的制约因素 .研究发现金属诱导横向结晶速度在长时间退火过程中下降 ;非晶硅本身在长时间退火过程中的变化是结晶速度下降的一个原因 ,而另外一个原因是在横...
关键词:金属诱导结晶 多晶硅 薄膜晶体管 结晶机理 
MILC超薄沟道多晶硅薄膜晶体管被引量:13
《电子学报》2001年第8期1068-1071,共4页金仲和 王跃林 
金属诱导横向结晶技术制备的多晶硅薄膜具有晶粒尺寸大且不随薄膜厚度而减小的特点 ,本文根据这一特点提出利用超薄沟道结构提高薄膜晶体管性能 .采用超薄结构后 ,成功地将金属诱导结晶薄膜晶体管的漏电降到10 -13 A/ μm以下 ;开关比...
关键词:金属诱导结晶 多晶硅 薄膜晶体管 MILC 
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