詹琳

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文主题：GAAS晶体VGF固液界面数值模拟GAAS更多>>
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运用数值模拟技术改进VGF法生长GaAs晶体被引量：4
《人工晶体学报》2008年第5期1056-1059,共4页詹琳 苏小平 张峰翊 李金权 
“863”国际重大合作项目(No.2002AAF3102)
在VGF法生长GaAs晶体的过程中固液界面凹向晶体,很容易在坩埚圆锥面处生长多晶。本文采用专业晶体生长模拟软件CrysVUn对实验温场进行了计算机模拟并提出改进方案,把底加热器取消并在坩埚底部加入氦气冷源,底部结构类似于热交换法系统...
关键词：数值模拟 VGF法 固液界面 GAAS 
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