邱文彬

作品数：3被引量：1H指数：1
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发文主题：涂层导体表面形貌缓冲层氧化物磁控溅射更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《低温物理学报》《低温与超导》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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涂层导体外延MgO层的织构与表面形貌探究（英文）
《低温物理学报》2015年第5期335-340,共6页宁纪林 赵苏串 范峰 鲁玉明 金晓燕 邱文彬 郭艳群 刘志勇 白传易 蔡传兵 
Project supported by the Science and Technology Commission of Shanghai Municipality(Grant Nos.11dz1100300;13dz1102302);the National Natural Science Foundation of China(Grant No.11174193)~~
采用直流反应磁控溅射技术在IBAD-MgO基底上外延生长MgO.良好的MgO薄膜(面内织构度FWHM<7°,表面均方根粗糙度RMS<2nm)能够在较宽的温度区间400℃到500℃间获得.对于温度影响的MgO薄膜生长,我们采用了基于密度泛函的第一性原理进行模拟...
关键词：缓冲层 涂层导体 MGO 
磁控溅射Y_2O_3种子层对Gd_2Zr_2O_7厚度效应的影响
《低温物理学报》2013年第5期333-338,共6页赵荣 范峰 邱文彬 鲁玉明 刘志勇 蔡传兵 
上海市科委(批准号:10dz1203500);国家973项目(批准号:2009AA03Z204);国家自然科学基金(批准号:A040204)资助的课题~~
本文研究反应磁控溅射法在双轴织构Ni-5at．％W（NiW）金属基底上动态外延生长Y2O3和Gd2Zrz07（GZO）及其对后续氧化物和超导层织构的影响．证实了动态磁控溅射Y20s是十分有效的种子层材料．X射线衍射θ～2θ扫描以及极图测试表明Y203...
关键词：磁控溅射 种子层 Y2O3 涂层导体 YBCO 
金属基底上氧化物缓冲层的外延生长及表面形貌研究被引量：1
《低温与超导》2013年第3期44-48,共5页邱文彬 范峰 赵荣 李敏娟 鲁玉明 刘志勇 蔡传兵 
国家自然科学基金(11174193);上海市科委(11dz1100302);国家"973"项目(2011CBA00105);国家"863"项目(2009AA03Z204)资助
采用直流反应磁控溅射在具有双轴织构的Ni-5%W基底上快速沉积了Y2O3种子层,随后外延生长GdxZr1-xOy(x=0.5,0.1)和YSZ三种阻挡层。研究表明,Y2O3能扩大和稳定后续薄膜的工艺窗口。X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析结果表明,三种薄...
关键词：直流反应溅射 双轴织构 涂层导体 缓冲层 
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