郝青山

作品数：2被引量：6H指数：1
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供职机构：中国科学院理化技术研究所更多>>
发文主题：光刻胶光刻苯环芴衍生物玻璃化温度更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《影像科学与光化学》《分析化学》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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极紫外光刻胶产气的定性和定量检测被引量：6
《分析化学》2020年第12期1658-1665,共8页陈金平 郝青山 王双青 杨树敏 赵俊 吴衍青 曾毅 于天君 杨国强 李嫕 
国家科技重大专项(Nos.2018ZX02102005,2011ZX02701)资助。
利用压强升高法建立了极紫外(Extreme ultraviolet,EUV)光刻胶产气检测系统,对以分子玻璃(Molecular glass)螺芴(9,9′-Spirobifluorene,SP)为主体材料的光刻胶薄膜体系Film A、B、C和D进行产气的定性和定量分析,其中,Film A的主体材料...
关键词：光刻胶 产气 分子玻璃 极紫外 光刻 
卟啉及BODIPY衍生物设计合成及光物理性质研究基于分子玻璃主体材料的极紫外(EUV)光刻胶研发
《影像科学与光化学》2014年第5期493-493,共1页郝青山 李嫕 陈金平 
第一部分 卟啉及BODIPY衍生物设计合成及光物理性质研究 大π共轭有机化合物因其优良光电性质近年来引起广泛关注．卟啉和BODIPY是两类具有特殊电子结构和光谱性质的共轭化合物，通过功能化修饰可以实现对其光电性质的调控。本论文工...
关键词：光物理性质 设计合成 衍生物 卟啉 主体材料 光刻胶 极紫外 共轭化合物 
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