陈金平

作品数：37被引量：83H指数：5
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供职机构：中国科学院理化技术研究所更多>>
发文主题：光刻胶单分子树脂树枝形聚合物三重态更多>>
发文领域：理学电子电信化学工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《高分子学报》《影像科学与光化学》《化学进展》《分析化学》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划北京市科技新星计划国家科技重大专项更多>>
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基于羧酸肟酯光敏基团的非化学放大型聚合物光刻胶
《高分子学报》2024年第10期1313-1324,共12页安惠雯 廉鹏 陈金平 于天君 曾毅 李嫕 
国家自然科学基金(基金号22090012)资助项目.
合成了2种羧酸肟酯光敏基团修饰的苯乙烯类单体2,2,2-三氟-1-(4'-乙烯基-[1,1'-联苯]-4-基)乙-1-酮-O-(3-甲基苯甲酰基)肟(OXE-P)和2,2,2-三氟-1-(4'-乙烯基-[1,1'-联苯]-4-基)乙烷-1-酮-O-噻吩-2-甲酰肟(OXE-S)通过核磁共振氢谱(1H-NMR...
关键词：非化学放大型光刻胶 可逆加成-断裂链转移(RAFT)聚合 羧酸肟酯 电子束光刻 机理 
具有双重显影特性的多用途单分子树脂化学放大光刻胶
《应用化学》2024年第7期1024-1034,共11页苑晓冬 陈金平 于天君 曾毅 李嫕 
国家自然科学基金(No.22090012)资助。
化学放大光刻胶(CARs)由于其在分辨率和灵敏度方面的出色性能而广泛应用于光刻领域。本文报道了一种基于单分子树脂的多用途化学放大光刻胶SP8-PAG_(AN),可同时用于365 nm光刻和电子束光刻。该体系主要由螺二芴结构的单分子树脂主体材料...
关键词：化学放大光刻胶 双重显影 单分子树脂 365 nm光刻 电子束光刻 
多糖基质诱导有机小分子室温磷光研究
《化学学报》2023年第5期450-455,共6页谌业勤 陈金平 于天君 曾毅 李嫕 
国家自然科学基金(Nos.22090012,22273117)资助。
有机室温磷光材料在光电、传感和成像等领域具有重要的应用前景并受到广泛关注,发展环境友好的基质用于诱导室温磷光能为室温磷光材料的应用提供更多可行策略.本研究设计利用多糖作为基质诱导有机小分子产生室温磷光.研究发现1-萘甲酸(...
关键词：室温磷光 多糖 有机小分子 基质诱导室温磷光 
共价键合光致产酸剂的单分子树脂光刻胶:合成及光刻性能被引量：2
《影像科学与光化学》2022年第2期211-219,共9页张卫杰 陈金平 于天君 曾毅 李嫕 
国家自然科学基金项目(22090012);国家科技重大专项(2018ZX02102-005)资助。
设计合成了一种共价键合光致产酸剂(PAG)的单分子树脂(molecular glass)材料HPS-MSF,该材料具有良好的热稳定性和成膜性。以该单分子树脂为主体材料,四甲氧基甲基甘脲(TMMGU)为交联剂进行配方,制备得到负型单分子树脂光刻胶。通过254 n...
关键词：单分子树脂 光刻胶 电子束光刻 光致产酸剂 
光刻胶中金属离子的去除和定量分析被引量：4
《分析化学》2021年第10期1750-1757,共8页张卫杰 陈金平 于天君 曾毅 郭旭东 王双青 杨国强 李嫕 
国家自然科学基金项目(Nos.22090012,U20A20144);中国科学院仪器研制项目(No.YZQT020)资助。
采用巯基树脂为金属离子吸附剂,分析了巯基树脂对光刻胶主体材料中残留的金属催化剂Pd的吸附热力学和动力学行为。在不同温度下,将巯基树脂对Pd的吸附实验数据进行动力学模型拟合,结果表明,巯基树脂对光刻胶中Pd的吸附过程符合拟二级动...
关键词：光刻胶 金属离子去除 巯基树脂 吸附动力学 等温吸附 
高分辨率极紫外光刻胶的研究进展被引量：5
《应用化学》2021年第9期1138-1153,共16页高佳兴 陈龙 玉佳婷 郭旭东 胡睿 王双青 陈金平 李嫕 杨国强 
国家自然科学基金(Nos.21873106,21903085,22073108,U20A20144,22090012)资助。
自集成电路芯片诞生半个多世纪以来,芯片尺寸在不断减少,以极紫外光刻为代表的光刻技术也有了显著的发展。同时,实现更高精度的光刻图案需要更加先进的光刻胶材料。传统的聚合物光刻胶材料因其相对分子质量大、高精度条纹易坍塌等缺陷...
关键词：极紫外光刻 极紫外光刻胶 分子玻璃光刻胶 无机金属配合物光刻胶 光刻 
极紫外光刻胶产气的定性和定量检测被引量：6
《分析化学》2020年第12期1658-1665,共8页陈金平 郝青山 王双青 杨树敏 赵俊 吴衍青 曾毅 于天君 杨国强 李嫕 
国家科技重大专项(Nos.2018ZX02102005,2011ZX02701)资助。
利用压强升高法建立了极紫外(Extreme ultraviolet,EUV)光刻胶产气检测系统,对以分子玻璃(Molecular glass)螺芴(9,9′-Spirobifluorene,SP)为主体材料的光刻胶薄膜体系Film A、B、C和D进行产气的定性和定量分析,其中,Film A的主体材料...
关键词：光刻胶 产气 分子玻璃 极紫外 光刻 
有机荧光温度传感体系研究进展被引量：2
《化学学报》2017年第12期1164-1172,共9页秦天依 曾毅 陈金平 于天君 李嫕 
国家自然科学基金(No.21233011);973项目(Nos.2013CB834703 and 2013CB834505)资助~~
温度是最常见的物理量之一,对温度的精确测量无论在科学研究还是在生产生活中均具有重要意义.荧光温度传感是一种新型半侵入式温度测量方法,具有高灵敏度、快速响应、可视化效果好等优点.有机荧光分子是最早用于荧光温度传感的材料,近...
关键词：温度传感器 有机染料 荧光 比率荧光 分子内电荷转移 激基缔合物 
一种荧光增强的反应型硫化氢荧光探针被引量：5
《有机化学》2017年第1期92-96,共5页周婵 邱波 曾毅 陈金平 于天君 李嫕 
国家自然科学基金(No.21233011);国家重点基础研究发展计划(973计划;Nos.2013CB834703;2013CB834505)资助项目~~
基于二硝基苯醚的硫解反应识别机制,设计合成了羟基芘甲醛为荧光基团的探针分子8-(2,4-二硝基苯酚基)芘甲醛(PCNP),研究了PCNP缓冲溶液分散体系对H_2S的响应.未与H_2S作用时,分子内光致电子转移过程导致探针分子PCNP几乎不发光,当体系...
关键词：荧光探针 反应型探针 硫解反应 荧光增强 硫化氢 
基于芘修饰树枝形聚合物的水相温敏荧光传感体系被引量：5
《化学学报》2017年第1期99-104,共6页秦天依 曾毅 陈金平 于天君 李嫕 
国家自然科学基金(No.21233011);973项目(2013CB834703 and 2013CB834505)资助~~
设计合成了外围芘修饰的质子化二代聚酰胺-胺树枝形聚合物G2 PAMAM-PyH.~1H NMR和紫外可见吸收光谱表征确定芘基团的上载率为100%.吸收光谱、动态光散射(DLS)和透射电子显微镜(TEM)研究结果表明,G2 PAMAMPy H在水中形成平均粒径为184 n...
关键词：温度检测 荧光传感 聚酰胺-胺树枝形聚合物 芘 
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