丁澜

作品数:5被引量:5H指数:1
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供职机构:苏州科技学院数理学院更多>>
发文主题:石墨烯化学气相沉积电子迁移率电特性气相法制备更多>>
发文领域:一般工业技术电子电信理学更多>>
发文期刊:《中国科技信息》《微纳电子技术》更多>>
所获基金:国家自然科学基金绍兴市科技计划项目苏州市科技计划项目更多>>
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石墨烯薄膜的化学气相法制备及光、电特性研究被引量:1
《苏州科技学院学报(自然科学版)》2012年第3期41-45,共5页祖丰硕 王滩 石岩 朱峰 丁澜 张浩 董洁雯 马锡英 
国家自然科学基金资助项目(60976071);苏州市科技计划资助项目(SYG201121)
利用化学气相沉积方法制备了石墨烯薄膜,并研究了其光电特性。以乙醇做反应原料、氩气作为携载气体,在873 K、973 K、1 073 K的温度下合成石墨烯薄膜。应用光学显微镜观察,发现在1 073 K时能够制备大面积均匀、平整光滑的石墨烯薄膜。...
关键词:石墨烯 化学气相沉积 光、电特性 电子迁移率 光透过率 
石墨烯/Si晶体管的研究进展被引量:1
《微纳电子技术》2011年第12期761-766,共6页丁澜 马锡英 
国家自然科学基金项目(60976071);绍兴市科技技术资助项目(2009A21054)
石墨烯具有很多优异的力学、电学和结构特性,可用于制备高速、低功耗的半导体电子器件和集成电路芯片。简要介绍了三种石墨烯/Si的制备方法,即剥离法、外延法、剪切和选择转移印刷法,其中外延生长的石墨烯被认为是最终实现碳集成电路的...
关键词:石墨烯 石墨烯/Si晶体管 制备方法 电学特性 磁学特性 
锗/硅量子点形貌随退火温度的变化与电学特性研究被引量:1
《苏州科技学院学报(自然科学版)》2011年第4期45-48,52,共5页楼曹鑫 丁澜 马锡英 黄仕华 
国家自然科学基金资助项目(60976071;60776004);绍兴市科技计划项目(2009A21054)
研究了锗(Ge)量子点薄膜表面形貌随退火温度的变化及其相应的电学特性。以锗烷为主要反应气体,应用等离子增强化学气相沉积法(PECVD)在300℃温度、p-硅(100)基片上沉积了锗量子点薄膜,然后分别在400℃、500℃、600℃温度下退火。应用原...
关键词:等离子体化学气相沉淀 退火 形貌 原子力显微镜 I-V 
磁控溅射法制备硅纳米晶体及其光电特性研究被引量:1
《中国科技信息》2011年第7期33-34,共2页王威 丁澜 马锡英 
国家自然基金项目(No.60976071)
本文介绍了以高纯硅为靶材,利用直流磁控溅射法在P型硅(111)衬底上生长硅纳米晶体薄膜,并在600摄氏度温度下退火处理。应用扫描电镜观察发现制备的硅纳米晶体粒度均匀,薄膜粗糙度小。X射线衍射仪分析发现硅纳米晶体具有(201)晶面取向生...
关键词:硅纳米晶体 磁控溅射 扫描电镜 红外光谱 X射线衍射 
SiGe纳米环的制备与电磁特性研究进展被引量:1
《微纳电子技术》2010年第11期668-673,共6页丁澜 马锡英 黄仕华 
国家自然科学基金项目(60976071;60776004);绍兴市科技计划项目(2009A21054)
SiGe纳米环、纳米螺绕环具有优异的电学、力学等性质,已成为非常重要的三维半导体纳米材料,在传感器、纳米电子学及纳机电系统中具有广阔的应用前景。简单介绍了制备SiGe纳米环、纳米螺绕环的方法,包括化学气相沉积法、分子束外延法和...
关键词:SiGe纳米环 纳米机电系统 异质薄膜卷膜 纳米螺旋器件 纳米传感器 
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