冯庆祥

作品数：21被引量：55H指数：4
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发文领域：化学工程经济管理电子电信交通运输工程更多>>
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半导体生产用剧毒气体解毒技术的研究
《低温与特气》2009年第1期1-3,共3页孙福楠 吴江红 柳蔚 李英辉 于大秋 冯庆祥 
在半导体制造过程中,需要使用大量有毒性气体,如SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、PH3、CH3Br、H2S、H2Se、AsH3等。这些气体易燃、易爆、有毒,对人身及环境有危害性,为了确保IC等新型半导体材料产业顺利发展,开展气体解毒研究意义重大。传统...
关键词：半导体 剧毒有害气体 SIH4 B2H6 GeH4 PH3 AsH3 干法解毒 
简谈中国气体被引量：3
《低温与特气》2008年第6期1-4,共4页孙福楠 吴江红 柳蔚 李英辉 冯庆祥 
回顾我国气体20多年所走的道路,通过分析同国外气体发展的差别,强调气体基础研究的重要意义,对我国特种气体由量的满足到质的飞跃充满信心。
关键词：标准气体 电子气体 工业气体 
电子气体:一种亟待解决的关键微电子材料被引量：2
《低温与特气》2008年第4期1-5,共5页孙福楠 吴江红 冯庆祥 
分析了我国以往电子气体的现状,介绍目前国外发达国家电子气体研发的具体做法,对未来我国电子气体的发展提出新的想法。
关键词：电子气体 砷烷 硅烷 合成 净化 分析 
超高纯氯气的大规模产业化生产被引量：3
《低温与特气》2008年第1期1-2,共2页孙福楠 吴江红 冯庆祥 
国家资金支持项目
超纯氯是半导体、光纤生产的重要原材料。近年来我国的半导体、光纤工业已从研究向产业化发展,作为重要电子气体的超纯氯将发挥重要的作用。为确保产品质量稳定、降低成本,对该产品进行产业化生产十分必要。
关键词：超纯氯 吸附 低温精馏 
高压气体终端净化技术在标准气体配制中的应用
《低温与特气》2007年第5期36-38,共3页孙福楠 吴江红 冯庆祥 
介绍了气体高压净化技术在标准气体制备中的应用,随着标准气体制备难度加大及市场竞争加剧,该技术将得到广泛的应用。多年的实验结果表明该技术具有广阔的市场空间。
关键词：气体净化 高压净化器 超纯气体 
新型标准气体配气装置研制被引量：7
《低温与特气》2007年第4期19-22,共4页孙福楠 吴江红 冯庆祥 
介绍了一种先进、实用的标准混合气配制装置,并对该装置的特点进行了详细描述。此外还对配气装置所必须配套的技术软件,以及培训的必要性进行了简要说明。
关键词：配气装置 气体 气体净化 标准气体 阀门 
高纯氨包装容器中存在痕量水积累问题的理论探讨被引量：1
《低温与特气》2007年第2期18-22,共5页孙福楠 吴江红 冯庆祥 
充分干燥的高纯氨包装容器,经反复充装若干次以后,会残留积累愈来愈多的水分。水是高纯氨质量控制的主要指标之一,对于5 N电子级高纯氨,水含量应控制在<5 ppm,对于5.5 N以上纯度的超纯氨,水分更应控制在1 ppm以下。对高纯氨水积累原因...
关键词：高纯氨 水积累 包装容器 
超纯氨(99.99999%)净化技术的最新研究进展被引量：2
《低温与特气》2007年第1期1-3,共3页孙福楠 吴江红 冯庆祥 
随着LED的飞速发展,作为重要原材料的高纯氨的纯度已达到7 N(99.99999%),传统的净化方法已成为初级预处理手段。介绍了当今世界最先进的氨净化方法,旨在提高我国超纯氨国产化水平,以满足中国LED生产的需要。
关键词：氨 净化 催化 吸附 
高纯羰基硫的生产被引量：8
《低温与特气》2004年第3期32-34,共3页孙福楠 冯庆祥 吴江红 
详细介绍了高纯羰基硫的合成与纯化
关键词：羰基硫 氧硫化碳 
瓶装标准混合气配制中若干技术问题简述被引量：3
《低温与特气》2003年第6期1-4,共4页孙福楠 冯庆祥 吴江红 
简单介绍了瓶装标准混合气配制过程中技术软件的重要性。叙述了配制顺序、设计计算及有机气、环保气、爆炸气等有关技术问题。还叙述了配制组分的浓度相对不确定度的计算及其意义。
关键词：瓶装标准混合气 不确定度 配制技术 饱和蒸气压 竞争机制 
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