汪滨

作品数:2被引量:1H指数:0
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供职机构:中国科学院更多>>
发文主题:SEM分辨率解析法扫描电镜电子探针更多>>
发文领域:电子电信机械工程更多>>
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在给定探针直径的条件下获取最大的上靶束流
《电子显微学报》1994年第1期53-57,共5页汪滨 黄兰友 
对于一个电子探针系统,我们在考虑了它的球差、色差、衍射以及高斯斑大小的条件下,推导出了一个获得最佳放大倍数和孔径角的公式,这些最佳值可确保该系统在给定探针直径的条件下获得最大的上靶束流。本文中还将阐明:给定束径下使束...
关键词:电子探针 直径 上靶束流 
从解析角度试论SEM分辨率被引量:1
《电子学报》1993年第9期82-86,共5页汪滨 
对于一个电子光学系统我们在考虑了各静电透镜和电磁透镜的球差、色差、衍射和高斯像斑之后。用解析的方法求出了上靶束径的条件极值,得到了最佳放大倍数和最佳孔径角的解析表达式,反过来这为完善该系统的设计提供了依据与途径。还证明...
关键词:孔径角 扫描电镜 分辨率 解析法 
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